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ECR CVD制备立方氮化硼薄膜及性能研究的任务书.docx
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ECR CVD制备立方氮化硼薄膜及性能研究的任务书.docx
该【ECR CVD制备立方氮化硼薄膜及性能研究的任务书 】是由【niuww】上传分享,文档一共【2】页,该文档可以免费在线阅读,需要了解更多关于【ECR CVD制备立方氮化硼薄膜及性能研究的任务书 】的内容,可以使用淘豆网的站内搜索功能,选择自己适合的文档,以下文字是截取该文章内的部分文字,如需要获得完整电子版,请下载此文档到您的设备,方便您编辑和打印。ECRCVD制备立方氮化硼薄膜及性能研究的任务书任务书任务名称:ECRCVD制备立方氮化硼薄膜及性能研究任务描述:本次任务旨在采用电子回旋共振化学气相沉积(ECRCVD)技术制备立方氮化硼(c-BN)薄膜,并研究其结构、成分、表面形貌、机械性能、热稳定性等性质。任务目标:-BN薄膜的制备方法;,并进行实验参数优化;-BN薄膜,并进行表征分析;-BN薄膜的机械性能、热稳定性等性质;《ECRCVD制备立方氮化硼薄膜及性能研究》报告。任务步骤:,了解ECRCVD技术原理和c-BN薄膜的制备方法;,并进行实验参数优化,包括反应室温度、N2/Ar流量比、BF3前驱体气体流量、微波功率等参数的优化;-BN薄膜,并进行表征分析,包括X射线衍射(XRD)、扫描电镜(SEM)、透射电镜(TEM)、原子力显微镜(AFM)等分析手段;-BN薄膜的机械性能、热稳定性等性质,包括硬度、摩擦系数、磨损率、氧化温度等测试;《ECRCVD制备立方氮化硼薄膜及性能研究》报告。任务成果:,内容包括ECRCVD技术原理和c-BN薄膜的制备方法、实验参数优化过程、c-BN薄膜的结构、成分、表面形貌等表征结果、机械性能、热稳定性等性质测试结果,以及结果分析和讨论。
ECR CVD制备立方氮化硼薄膜及性能研究的任务书 来自淘豆网www.taodocs.com转载请标明出处.
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