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GaN-MOCVD系统反应室的CFD模拟研究的任务书.docx
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GaN-MOCVD系统反应室的CFD模拟研究的任务书.docx
该【GaN-MOCVD系统反应室的CFD模拟研究的任务书 】是由【niuww】上传分享,文档一共【2】页,该文档可以免费在线阅读,需要了解更多关于【GaN-MOCVD系统反应室的CFD模拟研究的任务书 】的内容,可以使用淘豆网的站内搜索功能,选择自己适合的文档,以下文字是截取该文章内的部分文字,如需要获得完整电子版,请下载此文档到您的设备,方便您编辑和打印。GaN-MOCVD系统反应室的CFD模拟研究的任务书任务名称:GaN-MOCVD系统反应室的CFD模拟研究任务背景:氮化镓金属有机气相外延(GaN-MOCVD)技术是一种制备GaN单晶薄膜的重要方法,被广泛应用于LED和光电器件等领域。反应室是GaN-MOCVD系统的核心部件,影响着GaN薄膜的质量和生长速率。因此,对GaN-MOCVD系统反应室进行CFD模拟研究,对于了解反应室内的物流和热流分布规律、优化反应室结构和工艺参数具有非常重要的意义。任务目的:-、,提高GaN薄膜的品质与生长速率任务内容:阶段一:-:-、:,,评估方案的可行性和效果。,总结研究成果,提出下一步研究方向。任务交付成果:-MOCVD系统反应室的CFD模型和仿真计算结果;(如生长速率、压力分布、扩散性能等)的分析结果;;,包括任务背景、目的、内容、方法、结果和结论等。
GaN-MOCVD系统反应室的CFD模拟研究的任务书 来自淘豆网www.taodocs.com转载请标明出处.
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2024-03-27
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