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HWCVD技术高速沉积优质微晶硅薄膜及其生长机制研究的中期报告.docx
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HWCVD技术高速沉积优质微晶硅薄膜及其生长机制研究的中期报告.docx
该【HWCVD技术高速沉积优质微晶硅薄膜及其生长机制研究的中期报告 】是由【niuww】上传分享,文档一共【1】页,该文档可以免费在线阅读,需要了解更多关于【HWCVD技术高速沉积优质微晶硅薄膜及其生长机制研究的中期报告 】的内容,可以使用淘豆网的站内搜索功能,选择自己适合的文档,以下文字是截取该文章内的部分文字,如需要获得完整电子版,请下载此文档到您的设备,方便您编辑和打印。HWCVD技术高速沉积优质微晶硅薄膜及其生长机制研究的中期报告该研究旨在通过HWCVD技术高速沉积优质微晶硅薄膜,并深入研究其生长机制。在研究过程中,我们主要完成了以下工作:。该系统采用高频射频等离子体源和微波射频等离子体源,能够实现恒定的高浓度硅源供应和高功率离子轰击条件下的立即沉积。,包括氢气稀释比例、气体流量、沉积功率等。通过对不同参数的调节,我们成功地实现了高速沉积微晶硅薄膜,其沉积速度可达到5-10nm/s,并具有优异的电学和光学性能。(TEM)技术和拉曼光谱技术对沉积的微晶硅薄膜进行了表征。观察到微晶硅薄膜具有显著的晶界、大小约为2-5nm的晶粒以及相对较小的氢含量。。研究结果表明,沉积过程中氢气的输入量对生长速度和微晶硅晶粒尺寸具有重要的影响。此外,氢气密度对于微晶硅晶界的形成和氢含量的调控也具有重要作用。综上所述,我们通过HWCVD技术高速沉积优质微晶硅薄膜,并深入研究了其生长机制。我们的研究成果有望为该领域的技术发展和应用提供有力支持。
HWCVD技术高速沉积优质微晶硅薄膜及其生长机制研究的中期报告 来自淘豆网www.taodocs.com转载请标明出处.
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