下载此文档

InSb光伏探测器表面钝化研究及工艺实践的中期报告.docx

文档分类：研究报告 | 页数：约1页举报非法文档有奖

1/1

下载提示

1.该资料是网友上传的，本站提供全文预览，预览什么样，下载就什么样。
2.下载该文档所得收入归上传者、原创者。
3.下载的文档，不会出现我们的网址水印。

同意并开始全文预览

(约 1-6 秒)

1/1 下载此文档

文档列表 文档介绍

该【InSb光伏探测器表面钝化研究及工艺实践的中期报告】是由【niuww】上传分享，文档一共【1】页，该文档可以免费在线阅读，需要了解更多关于【InSb光伏探测器表面钝化研究及工艺实践的中期报告】的内容，可以使用淘豆网的站内搜索功能，选择自己适合的文档，以下文字是截取该文章内的部分文字，如需要获得完整电子版，请下载此文档到您的设备，方便您编辑和打印。InSb光伏探测器表面钝化研究及工艺实践的中期报告该研究旨在探究利用表面钝化技术提高InSb光伏探测器的效率,同时根据实际工艺实践结果进行中期报告。目前已完成以下实验和分析::选择p型硅衬底,在正向电场下通过选择性蚀刻制备n型InSb探测器,并采用电子束蒸发技术制备金属电极。:实验中使用了Al2O3和SiO2作为表面钝化材料,分别采用原子层沉积和溅射沉积。通过计算保留夹杂物的数量和测量样品表面状态,选择了较优的材料和工艺。:通过测试两种钝化材料下光伏探测器在不同波段下的响应,发现钝化后的光伏探测器在可见光和近红外波段的响应比未钝化的有所提高,其中以SiO2钝化效果更佳。:通过调整SiO2钝化的工艺参数,包括沉积时间、温度和压力等,使钝化层的厚度和表面形貌更为均匀,提高光伏探测器的效率。总体来看,表面钝化可以提高光伏探测器的效率,但对工艺的要求较高。通过优化钝化工艺可以进一步改善探测器效率。未来还需进行更深入的研究和实验,进一步优化表面钝化工艺和探测器结构。

InSb光伏探测器表面钝化研究及工艺实践的中期报告来自淘豆网www.taodocs.com转载请标明出处.