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Ta及Ta-O薄膜的制备及其电学性能研究的中期报告.docx
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Ta及Ta-O薄膜的制备及其电学性能研究的中期报告.docx
该【Ta及Ta-O薄膜的制备及其电学性能研究的中期报告 】是由【niuwk】上传分享,文档一共【2】页,该文档可以免费在线阅读,需要了解更多关于【Ta及Ta-O薄膜的制备及其电学性能研究的中期报告 】的内容,可以使用淘豆网的站内搜索功能,选择自己适合的文档,以下文字是截取该文章内的部分文字,如需要获得完整电子版,请下载此文档到您的设备,方便您编辑和打印。Ta及Ta-O薄膜的制备及其电学性能研究的中期报告中期报告:Ta及Ta-O薄膜的制备及其电学性能研究一、研究背景钽(Ta)是一种高温、高强度、高化学稳定性的金属材料,被广泛应用于内部燃烧机、高温炉、放射体防护等领域。而氧化钽(Ta-O)的应用也十分广泛,如用于电容器、场发射材料、试管材料和光纤通信等领域。因此,研究Ta及Ta-O薄膜的制备方法及其电学性能具有重要意义。二、(1)直接沉积法使用射频磁控溅射法在玻璃和Si衬底上直接沉积Ta薄膜和Ta-O薄膜。采用不同的沉积条件,如溅射功率、气体流量等,制备不同厚度、结构和成分的薄膜。(2)氧化法先制备Ta薄膜,再在氧气等高氧化性气体氛围中进行氧化处理,从而制备Ta-O薄膜。通过控制氧化时间和气体流量,制备不同成分和结构的薄膜。-O薄膜进行电学性能测试。得到了薄膜的电导率、介电常数、功函数等参数。三、结论及展望通过上述制备方法制备了不同结构和成分的Ta及Ta-O薄膜,并测试了其电学性能。目前,我们正在进一步研究薄膜的稳定性、光学性质以及在电容器等诸多领域的应用性能。希望未来的研究能够更深入地探究Ta及Ta-O薄膜的性质及其应用,为相关领域的应用提供更好的材料基础。
Ta及Ta-O薄膜的制备及其电学性能研究的中期报告 来自淘豆网www.taodocs.com转载请标明出处.
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