《物理气相沉积技术》.ppt

该【《物理气相沉积技术》 】是由【相惜】上传分享，文档一共【47】页，该文档可以免费在线阅读，需要了解更多关于【《物理气相沉积技术》 】的内容，可以使用淘豆网的站内搜索功能，选择自己适合的文档，以下文字是截取该文章内的部分文字，如需要获得完整电子版，请下载此文档到您的设备，方便您编辑和打印。物理气相沉积技术第八章编辑课件低维材料定义:二维、一维和零维材料,统称低维材料。二维材料:是指当材料的任一维度,如Z方向的尺寸小到纳米量级,那么此材料就成为X,Y方向延展的二维材料。——薄膜材料(纳米薄膜〕一维材料:当材料在Z方向缩小的同时,Y方向也缩小到纳米尺度。——又称量子线,纳米管零维材料:当材料在X,Y,Z方向上的尺寸都缩小到纳米量级。——纳米粉体材料PVD是制备低维材料的手段,特别是薄膜材料!编辑课件WhatistheDeposition?GasLiquidSolidCondensationVaporizationDepositionFreezingMeltingSublimation编辑课件薄膜材料的制备气相沉积技术溶胶凝胶技术PVDCVD蒸发镀离子镀溅射镀〔装饰,机械制品,电子器件〕编辑课件眼镜片的镀膜1、减反射膜〔增透膜〕2、顶膜〔防水膜、防雾膜〕编辑课件镀膜技术的评价薄膜性能膜厚分布附着力沉积速度编辑课件一、真空蒸发镀概念:真空蒸发镀是将被镀工件放在真空室,并用一定方法加热使镀膜材料〔简称膜料〕蒸发或升华飞至工件外表凝聚成膜。编辑课件〔一〕真空蒸发镀示意图编辑课件1、蒸发 2、汽化粒子的输运〔源-基距<平均自由程〕3、凝聚、生长过程〔二〕主要过程编辑课件1、蒸发过程蒸发速率:Gm=*10-3PS(Ar/T〕,TGm确定材料的饱和蒸汽压PS,GmT蒸汽粒子的空间分布蒸发源膜料点,平面类型物性加热条件编辑课件