单晶炉工艺操作规范.doc

更多免费资料下载请进:社区XX光电材料有限公司文件编号Q/WS9308-8-2008版本号:A/0页码:共9页生效日期:2008年4月21日取单晶作业作业内容注意事项1)按规定穿好服装,戴好劳保手套2)准备好有关工具和取晶栏1)确认炉内恢复常压,打开副室小门2)按下副室升按钮,升起副室炉筒*一次升到位3)把副室炉筒慢慢侧移,同时把接晶盘移到*晶棒受到撞击会造成单晶下方,稳住晶棒,避免使其受到撞击籽晶或细颈断裂4)把取晶栏放在晶棒正下方,移开接晶盘*晶棒底下严禁站人5)按下晶快降按钮,将晶棒降入取晶栏,以籽晶基本不受力为准6)按住细颈,用钳子将细颈掐断,使籽晶上*重锤高速旋转会造成保留足够长(尽量维持原长的细颈).捉住钢丝绳损伤钢丝绳使重锤慢慢旋转,取消拧力后再放手7)籽晶如需更换,把旧籽晶取下放入待清洗*注意重锤温度很高籽晶盒8)重锤升入副室炉筒,升起炉盖移到侧面9)准时送入检测区*晶棒严禁磕碰单晶炉拆炉作业作业内容注意事项1)按规定穿好服装,戴好口罩、手套2)准备好拆炉工具等1)放好不锈钢台车2)戴好耐高温手套3)用专用工具依次取出导流筒、保温大盖4)取出的石墨件倒置放在台车上*避免石墨件与金属直1)放好不锈钢桶接接触2)用钳子夹住石英埚上沿部分提起,放入不*埚底料尽量保持完整锈钢桶3)戴好耐高温手套,把埚底料放入不锈钢桶更多免费资料下载请进:社区1)戴好耐高温手套2)把石墨埚一瓣瓣取出,碎渣倒入不锈钢桶*碎渣避免掉入埚杆波纹3)取出埚托、埚杆,取埚杆时用专用工具拧管内掉不锈钢螺丝4)取出的石墨件放在不锈钢台车上,转移到规定区域,使其自然冷却单晶炉清扫作业作业内容注意事项1、准备好工具和吸尘管它氧化杂质。2、戴好口罩1)打开抽气管道后盖,使管内自然冷却2)慢慢打开真空球阀给过滤罐充气,充满后关闭球阀3)拧下大罐盖螺丝,慢慢取下盖子,抽出过*注意被大罐盖砸伤滤网,用吸管将其吸净,并将罐内残留物*粉尘为SiO2及其它吸净,然后装好过滤网氧化杂质。4)将过滤罐密封面和盖上的密封圈擦干净,*避免划伤密封面将大罐盖螺丝上好5)此时抽气管道内已冷却,用吸管吸净管道*每炉必须清理内附着物,用专用工具对炉底排气管道进行疏通,残渣由吸尘器吸走,确认畅通6)将管道后盖密封面和密封圈擦干净,用工具将螺丝匀力上紧1)用刷子和吸尘管清扫内壁上的附着物*要全面、仔细2)用沾酒精的纤维纸将炉盖内壁彻底擦一遍*重点是焊缝、观察窗、3)检查是否有打磨不净的部位,如有再次打小副室翻板阀等部位磨并用纤维纸擦拭干净4)内壁有孔部位,用酒精纤维纸仔细擦内部*检查密封圈有无损坏5)用酒精纸整体擦拭炉盖内壁,确认无污物出槽,翻板冷却水管有6)将管道后盖密封面和密封圈擦干净,无漏水现象7)用专用盖子将小副室上口盖上,盖上翻板注意检查预留堵头是否阀,关闭副室小门有漏水现象1)确认石墨件自然冷却完毕更多免费资料下载请进:社区2)戴好口罩手套,温度不高可用一次性手套3)检查石墨件有无老化、损坏,必要时更换4)用刷子和吸尘管对石墨件进行清扫,然后*有强力附着物时用研用干纤维纸擦拭干净磨布打磨,再吸净1)确认充分自然冷却,可以清扫2)准备好吸尘罐和刷子3)炉底和加热器用刷子和吸尘管吸净*检查石墨件有无损坏4)保温材料上部吸除干净5)主炉筒与炉盖接合部位吸除干净*清理干净波纹管内杂物,6)检查加热器电极螺丝