实验三扫描探针显微镜的构造及形貌分析.doc

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实验三扫描探针显微镜的构造及形貌分析
一、 目的要求
1. 了解扫描探针显微镜的结构和构成以及其所包含的功能
2. 了解扫描探针显微镜的实验条件
3. 掌握扫描探针显微镜的成像原理及成像条件
4. 掌握扫描探针显微镜的样品前处理
5. 学会分析扫描探针显微镜的数据结果
二、 扫描探针显微镜的基本结构和工作原理
1. 扫描探针显微镜的基本结构
扫描探针显微镜大体由探针、激光光路，扫描头、反馈与扫描控制电路，与 数据采集和显示系统组成。
⑴探针：探针是扫描探针显微镜中探测样品表面信息的一个探头，其末端半 径非常小。扫描探针显微镜为一个有弹性很好的水平微悬臂支撑的金字塔型晶体 针尖，一般在扫描探针工作的时候，针尖末端距离样品表面的距离只有几个埃左 右，其与样品之间的相互作用力为范德华作用力，随着距离的变化迅速衰减。
四象限光电位置探测器实际由四个光电探测器组成，每个探测器为一个象 限；当激光灯打在四象限位置探测器上，每一个象限将会接收到光信号，并且将
其探测针尖悬臂形变的原理为：整个激光光路系统是一个光杠杆放大器，当 针尖与样品间的距离边小时，其相互作用力变大，导致针尖悬臂产生微小的形变。 针尖的微小形变导致了由针尖反射到检测器（四象限探测器）的激光光斑中心发 生了偏移，由于整个光路的长度是针尖悬臂长度的几百到上千倍，所以整个光路 将针尖微小的形变放大了上千倍，所以整个光路将针尖微小的形变放大了上千 倍，达到了微米级四象限探测器可以将光斑中心离距离探测器中心的距离线性的 转化成电压，并且这种微米级的光斑移动可以被四象限检测器轻易检测到。假设 由针尖反射到四象限探测器的光路长度为L,针尖悬臂的长度为1,悬臂的形变 量为d,弹性系数为k纳牛/纳米，四象限探测器的距离电压转换系数为C伏/微 米，则当针尖与样品表面作用力为F纳牛时，四象限探测器的电压显示V为:
2d竺
I
• F
可以看出，当C、L、1、k不变的时候，V与针尖施加的压力F成正比。
光路在整个扫描系统是一个非常重要的，光路的正确和好坏将直接影响扫描 探针显微镜的工作，同时光路的调节是非常重要的，一般要确保激光光斑打在针 尖头端，且大部分激光被反射到四象限探测器中合适的位置。
（2） 激光光路：将探针受力产生的微小的形变量放大，并将这种形变量转换 为光电信号传输给系统。光路探测系统由激光头、探针悬臂、检测器组成。
（3） 扫描头:扫描头为一个由压电陶瓷晶体加工而成的为了使其分辨率达到 原子水平，则要求扫描部分有非常高的可控移动精度。由于压电陶瓷是一种很好 的电至伸缩材料，可以通过对外加电场强弱来控制压电陶瓷的伸缩量。
（4） 反馈与扫描控制电路:反馈与扫描系统是扫描探针显微镜系统中的中枢 神经系统，它的作用是对采集得到的信号进行反馈和控制，发出扫描信号。
（5） 数据采集与显示系统;将测得的电信号收集，并转换成可视数据.
2. 扫描探针显微镜的工作原理
扫描探针显微镜是一种分辨率高，其能够表征物体表面三维形貌信息的探针 显微镜。其横向分辨率可达0. 2nm,纵向分辨率可达0. Olnm。