真空技术及应用系列讲座：第十九讲真空溅射镀膜-论文.pdf

第 卷第 期 真 空 。．
年 月 ．
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》 真空技术及应用系列讲座 》
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东北 大学真空工程博 士点 ，博士 导师杨乃恒 先生主持
第 一 讲 ：真 空科 学 的发 展及 其 应用 ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ 李云 奇
氮 第二讲 ：真空物理基础 ·⋯ ⋯ ⋯ ·⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ · 张世伟
第 三讲 ：机 械 真空 泵 一 二 三 四五 六 ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ 张以 忱 、、、、、
第 四讲 ：蒸 汽 流真 空泵 ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ 姚 民生
第 五讲 ：气 体捕 集 式 真空 泵 ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ 徐 成 海
第 六讲 ：真 空 测量 ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ 刘 玉岱 、、、、
第七 讲 ：真 空检 漏 ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ．．．．⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ．．关奎之 、、、、
≥ 第八讲 ：真空系统设计 ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ 王继常 、、、、、
第 九讲 ：真 空 系统 组成 元 件 ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ 王 继 常 、、、、、、
第 十讲 ：真 空 密封