洁净区环境监测规程.doc

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干净区环境检测规程
1目的
规定干净区的控制指标和检测方法，有效的控制干净车间和实验室干净区环境的干净度，满足生产和检测环境的要求。
2范围
本规程适用本公司干净区环境的干净度检验。
3职责
化验员负责干净环境检测各项技术要求的检验。


温度、湿度、压差、风速〔换气次数〕、尘埃粒子数、菌落数。
、湿度
4
干净区温度〔18-28〕℃，相对湿度〔45-65〕%
4
温湿度计
温湿度计必须在检定合格周期内
4
目测温湿度计
4
1次/班

4
干净室与室外压差≥10Pa，干净室与非干净室≥5Pa，不同级别干净室之间≥5Pa。
4
微压计
微压差计或手持式数显压差计须在检定合格周期内。
4
用微压计或数显压差计测试各室的静压力，由两室静压力之差，为静压差。
4
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1次/月

：
表1各级别干净区风速的技术指标
级别
100级
10000级
100000级
300000级
风速
m/s
水平层流
≥
——
——
——
垂直层流
≥
换气次数
次/h
——
≥25
≥15
≥12
4
风速计
风速计必须在检定合格周期内。
4
，采样点为风口的四个顶角及中心位置〔不少于5点〕。计算5个点风速平均值，为一个风口的风速。
：
换气次数=∑（高效送风口风速×高效送风口面积）被测房间体积
：
1次/月

：
表2各级别干净区尘埃粒子数的技术指标
级别
100级
10000级
100000级
300000级
尘埃数
粒/m3
≥μm
≤3500
≤350000
≤3500000
≤10500000
≥μm
0
≤2000
≤20000
≤60000
4
尘埃粒子计数器
4
〔1〕，总采样次数不少于5次。
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〔2〕最少采样点数目确实定如3表所示：
表3：最少采样点数目
面积
m2
干净度级别
100级
10000级
100000级
300000级
＜10
2～3
2
2
2
≥10～＜20
4
2
2
2
≥20～＜40
8
2
2
2
≥40～＜100
16
4
2
2
≥100～＜200
40
10
3
3
≥200～＜400
80
20
6
6
≥400～＜1000
160
40
13
13
≥1000～＜2000
400
100
32
32
≥2000
800
200
63
63
注：对于100级的单向流干净室〔区〕，包括100级干净工作台，面积指的是送风口外表积；对于10000级以上的单向流干净室〔区〕，面积知道是房间面积。
〔3〕采样点的位置
。
采样点多余5点事，，但每层不少于5点。
采样点分布见附录A
〔4〕采样次数的限定
对任何小干净室〔区〕或局部空气净化区域，采样点的数目不得小于2个，总采样次数不得少于5次。每个采样点的采样次数可以多余一次，且不同采样点的采样次数可以不同。
〔5〕采样量
不同干净度级别每次最小采样量见表4
表4最小采样量
最小采样量
L/次
干净度级别
100级
10000级
100000级
300000级
≥μm
≥μm
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〔6〕采样考前须知
对于单向流干净室〔区〕，粒子计数器的采样管口应正对气流方向；对于非单向流干净室〔区〕，粒子计数器的采样管口宜朝上。
布置采样点是应尽量避开风口。
采样时，测试人员应在采样口的下风侧，并尽量少活动。
采样完毕后，宜对粒子计数器进展自净。
应采取一切措施防止采样过程的污染。
4
〔1〕采样点的平均悬浮粒子浓度A
采样点的平均悬浮粒子浓度A的计算公式：
A=i=1nCin
式中：
A—某一采样点的平均粒子浓度，