迈克尔逊干涉仪影响因素的测量不确定度分析_郭长立.docx

第 29卷第7期实验室研究与探索 2010 年7月RESEARCHANDEXPLORATIONINLABOR ATO RY 201 0 迈克尔逊干涉仪影响因素的测量不确定度分析郭长立(西安科技大学理学院,陕西西安 710 054) 摘要:用测量不确定度分析方法, 通过理论分析和数值计算, 指出人工目测读数、动镜法线与移动方向不一致、M 1和Mc 2 不严格平行以及长度测量的A 类测量不确定度是影响迈克尔逊干涉仪测量的主要因素,理论分析与实验结果符合。1M 1和Mc 2严格平行时,若采用人工目测读数, 则计数误差是最主要的影响因素, 动镜法线与移动方向不一致以及u rel($d) A 也是较大影响因素,u rel($d) B影响较小;oM 1和Mc 2不严格平行, 有微小的夹角H,则u crel($d) H、u rel($d) A以及u rel($d) A,B 三者为同一数量级, 都是主要影响因素;? 为提高测量精度,首先要提高干涉条纹计数精度,同时要调整M 1和 Mc 2严格平行, 且动镜法线与移动方向保持一致。在空气膜厚d>20mm区域测量,不宜在d=0mm 附近区域测量。关键词:测量不确定度;迈克尔逊干涉仪;影响因素中图分类号:O :A文章编号: 1006- 7167( 201 0)07-0 037-04 AnalysisofUnc ertaintyinMeasurementofMichelsonInt erferometer GUOChang-li (Sch oolofScience, echnology, 710 054,China) Abstract:W iththeanalysisofun certain tyinmeasuremen,tthisarticlepointedoutthattheartificialvisualco un ting, inconsistencybetweenthenormalofmovingmi rrorw iththemovingdirection,M 1isnotstrictlypara lleltoMc 2,aswe llas typeAevaluationofun certaintyinmeasurementoflengtharethemainimp actf actorsofMich aelsoninterferometer throughtheoreti calanalysisandnumerical 1andMc 2arestrictlyparallelandartificialvisual countingisused,thecountinge rroristhemostimportantfactor,theinconsistencybetweenmovingdir ectionandmoving mirrornormalaswellasu rel($d) Aalsoarethemainimpactfactors,wh ileu rel($d) Bislessaff ected;oWhenM 1isnot strictlyparallele