下载此文档

单晶操作工艺规程.doc


文档分类:汽车/机械/制造 | 页数:约12页 举报非法文档有奖
1/12
下载提示
  • 1.该资料是网友上传的,本站提供全文预览,预览什么样,下载就什么样。
  • 2.下载该文档所得收入归上传者、原创者。
  • 3.下载的文档,不会出现我们的网址水印。
1/12 下载此文档
文档列表 文档介绍
单晶操作工艺规程常州益鑫新能源科技有限公司受控状态实施日期适用 85单晶炉实施责任者注:本文件的更改,应由建议者提出申请,经批准后方可变更。作成审核批准承认变更内容: 吴道庆吴道庆文件编号版/次总 29页 A/0 第 1页一. 操作工艺流程热场清扫→热场组装→装料→化料→稳定→引晶→放肩→转肩→等径→收尾→冷却热场清扫的要求与注意事项 1 、热场清扫时要求除石墨部件表面的氧化物; 2 、碳毡表面和底部的氧化物; 3 、把清扫完的石墨部件要放在清扫干净的热场车上; 4 、清扫热场前要求穿戴取热场部件必须带上防热手套以免烫伤; 5、拿下的热场部件要轻拿轻放, 放在热场车上, 禁止与金属接触,如: 油漆、润滑油等; 6、清扫热场时必须在指定地点, 远离单晶炉, 禁止用空调吹, 清扫要认真、仔细, 热场部件一定要清扫干净; 7 、拆热场时要注意热场放置的顺序和它的位置,禁止叠放。二、热场组装 1 、保证石墨部件的同轴度; 2 、保证石墨部件之间的配合; 3 、加热器脚螺栓要拧松紧适中; 4 、检查石墨部件的洁净度和石墨部件是否有损伤; 5 、中轴是否居中拧紧; 6 、放置保温筒后对中导气孔测温孔; 单晶操作工艺规程常州益鑫新能源科技有限公司受控状态实施日期适用 85单晶炉实施责任者注:本文件的更改,应由建议者提出申请,经批准后方可变更。作成审核批准承认变更内容: 吴道庆吴道庆文件编号版/次总 29页 A/0 第 2页 7 、加热器放水平,对中,检查其脚是否有碎的石墨纸; 8 、石墨坩埚放水平,检查旋转时是否有晃动; 9 、总的要求是:水平、同心、同轴。三、装料 1 、装料前必须按要求着装;注意好工艺卫生,防止料的二次污染。 2 、如果有大块料需要提前处理,处理时必须保证不受任何污染; 3、先检查石英坩埚是否的损伤, 气泡, 黑点, 是否符合石英坩埚的检查标准, 然后将石英坩埚装好,保证水平; 4 、装料时所注意到的有: (1 )检查石英坩埚放置是否水平(2 )着装是否正确(3 )放掺杂剂(4 )料与石英坩埚之间避免撞击(5 )大块料和埚底料放在最下面(6 )碎料应装在石英坩埚 1/2 以下位置(7 )最上面装中等大小的块状料(8 )注意更换卫生用具,每装完一袋料更换一次一次性手套; (9 )装料时不允许旁观者近距离接触现场单晶操作工艺规程常州益鑫新能源科技有限公司受控状态实施日期适用 85单晶炉实施责任者注:本文件的更改,应由建议者提出申请,经批准后方可变更。作成审核批准承认变更内容: 吴道庆吴道庆文件编号版/次总 29页 A/0 第 3页( 10 )装料完毕后,将坩埚下降与加热器水平,下降籽晶吊绳,慢慢上升吊绳,要求籽晶的上升速度为 200mm/min 四、点检 1 、先开主泵去看主泵的油位 2 、冷水压力是否在 — 之间 3 、氩气压力是否在 — 之间 4 、副泵油位是否在 1/2 — 2/3 之间 5 、真空泵油位是否在 1/2 — 4/5 之间,油是否清晰 6 、真空泵冷却水是否打开五、抽真空和检漏 1、启动主泵缓慢打开主阀, 当压力表指数在-0. 05 ——-0. 1Mpa 之间时充氩气, 反复三次,半小时内真空计能达到 3pa 以下就可以捡漏。 2 、捡漏时间最少 3 分钟,漏速在 0. 67pa/min ,就可以通过捡漏。 3 、检漏通不过检查主阀是否关严,拆管道看密封圈是否有破损 4、抽真空抽不下去时检查主泵是否正常工作, 密封圈接触的部分是否有封闭不严的地方六、化料 1 、检漏通过后打开主阀,氩气流量设为 25L/min ,埚转设为 ; 2 、起始的埚位要与加热器平行 30KW 加热 30min , 60KW 加热 30min ,然后再改 75K W 单晶操作工艺规程常州益鑫新能源科技有限公司受控状态实施日期适用 85单晶炉实施责任者注:本文件的更改,应由建议者提出申请,经批准后方可变更。作成审核批准承认变更内容: 吴道庆吴道庆文件编号版/次总 29页 A/0 第 4页加热; 3、化料过程中, 检查是否有挂边现象, 如果挂边, 把坩埚下降为最底部, 如果还没有处理掉,加大功率,比化料时功率大 10KW 左右,处理挂边时注意溶液的沸腾现象,还要注意石英坩埚是否变形; 4 、如果有沸腾,先将功率降到 60KW ,溶液没有沸腾现象才可以上升埚位。 5 、注意埚位和转速 6 、注意坩埚边缘的氧化物和溶液的位置七、稳定 1 、先下降导流筒再上升坩埚 2 、改变埚转上升挂钩 3 、打开下炉体氩气,关闭翻板阀 4 、待上炉体为常压时,打开放气阀拧开三孔螺丝,拿取手柄,上升副室,取下挂钩,换上籽晶,关闭副室进入导气 5、换完籽晶合上副室后, 下降籽晶, 稳定籽晶至静止状态,

单晶操作工艺规程 来自淘豆网www.taodocs.com转载请标明出处.

非法内容举报中心
文档信息
  • 页数12
  • 收藏数0 收藏
  • 顶次数0
  • 上传人63229029
  • 文件大小70 KB
  • 时间2017-05-16
最近更新