基于SECS标准的半导体封装设备串口通信实现.doc

基于SECS标准的半导体封装设备串口通信实现
摘要:SECS标准用来统一各个生产设备之间以及生产设备和控制设备之间的通讯。介绍了SECS标准的构成，提出了使用SECS标准接口解决半导体封装设备通信的问题，使所有设备全部都通过使用SECS标基于SECS标准的半导体封装设备串口通信实现
摘要:SECS标准用来统一各个生产设备之间以及生产设备和控制设备之间的通讯。介绍了SECS标准的构成，提出了使用SECS标准接口解决半导体封装设备通信的问题，使所有设备全部都通过使用SECS标准接口连接到单元控制器及更高级别的MES和工厂计划信息系统。使设备能快速地整合在CIM的管理系统中。系统实现了基于SECS标准的串口通信，并给出了基于SECS协议的串口通信的实例。
0 引 言
在高度自动化的半导体制造厂中，CIM(Computer Integrated Manufacturing)统一管理各设备的生产流程，并随时监控设备过程的状态，以减少过程失误进而降低成本及提升产品的质量。但随着过程的不同，各设备有着不同特性的差异且各制造商所提供的设备也不尽相同，因此增加CIM自动化管理的困难与复杂程度。软件集成自动化存在的主要问题是在不同的设备供应商之间没有标准的通讯协议。设备供应商不向半导体生产商开放通讯协议及接口软件，这使得半导体生产商不得不建立他们自己的软件“连接”，导致了项目费用的巨大增加。
SEMI(Semiconductor Equipment and Materials International)
制定了半导体设备通讯标准接口SECS(Semiconductor Equipment
Communication Standard)，让CIM与设备间有通用的通讯标准接口，设备制造商只要提供符合通讯标准规范的设备，便可快速地整合在CIM的管理系统，不但可缩短设备开发的时间及成本，并可增加设备装机的效率达到快速量产，进而提升产能输出。
1 SECS标准简介
SECS标准用来统一各个生产设备之间以及生产设备和控制设备之间的通讯，是半导体生产流程中最基本的标准。SECS协议为点对点协议，它包括2个部分SECS-?和SECS-?。SECS-?为基于RS232的传输层，定义了设备和主机之间的MESSAGE交互的通信接口，大致相当于ISO/OSI模型的下面5层。主要包括有块传输协议，MESSAGE接收算法
和节点传输算法;SECS-?则把SECS-?传输的二进制串翻译成形象直观的格式表示出来，SECS-?规范传输资料的标准结构和显示内容，方便使用者查看数据内容。图1简单表示了SECS标准的典型应用，图中节点C代表主机，节点A和B表示设备，这些节点仅仅是组成整个网络的一部分。按照SECS标准的定义，每一个节点都