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三维形貌测量技术.ppt

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文档列表 文档介绍

三维形貌测量技术
物理实验教学示范中心
不锈钢的表面粗糙度
非接触式、精度高、测量速度快等
陶瓷表面形貌
三维形貌测量: 应用
被动
三维传感
时间调制:飞行时间法
莫尔轮廓术
调制度测量轮廓术
光学三维
传感轮廓术
主动
三维传感
空间调制
傅里叶变换轮廓术
小波变换轮廓术
相位测量轮廓术
:摄像机采集二维面形数据
三维形貌测量: 分类
入射光栅像
-
物体高度所引起的相位差
Obj.
S
L0
d
h
Projector
Camera
Reference
C
D
x
z
光路原理
基准光栅条纹的初相位
基准光栅图像
被基准光栅调整后的物体的图像
光栅图像的基频
物体非均匀反射率
物体被光栅调制后的相位
1、g0(x,y)、gr(x,y)做傅氏变换变为g0(fx,fy)、gr (fx,fy)
基准光栅图像与调制的物体像求样品高度
2、提取g(fx,fy)、gr (fx,fy)的基频信息
3、对基频做逆傅氏变换得到:
基准光栅
的基频图像
被调制物
的基频图像
4、求解相位差与样品高度的关系
4、求解相位差与样品高度的关系
相位差
Obj.
S
L0
d
h
Projector
Camera
Reference
C
D
由三角形的相似关系:
高度可测

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