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气体设备基础知识培训

面盘类设备主要分为:气源处理和气源分配2类
气源处理:将钢瓶气源调整到设备所需压力、安全稳定、连续的输送到下游设备。
BSGS:大流量特殊气体输送柜
GC:气瓶柜
GR:气瓶架
气源分配:将输入管路调整为所需的输出管路,同时保证生产的连续进行。
VMB:阀组箱
VMP:阀组盘
BSGS
BSGS:大流量特殊气体输送柜
气源在柜外的气源处理设备,一般情况下,储存量大于500L的特种气体储存和送气系统
常用气源类型有Y瓶、T瓶。适用于SiH4、NH3等高流量气体系统
Y瓶 T瓶
BSGS
全自动控制
高压端工艺管径1/2",低压段工艺管径1/2"
高低压自动吹扫功能
自动切换,可远程紧急关断阀门
autoguard防止误拆卸
高压气源过滤功能
10寸彩色触摸屏实现人机交互
功能型号
PLC控制
彩色触摸屏面
高低压自动吹扫
自动切换
紧急切断
高压气源过滤
一级调压
二级调压
流量开关
auto guard
抽风罩
GS1
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GS2
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"ü"必备功能;"*"为可选功能
BSGS
可选项简述
1、二级减压
当减压阀前后压差过大时,避免由于压降过大造成减压阀结露严重,需采取两级减压,一级减压至一个中档的压力,二级减压至需用的压力。
2、流量开关
流量开关主要是在管路中监控流量的大小。在流量高于某一个设定点时候触发输出报警信号传递至控制部分
阀门结露
流量开关
BSGS
可选项简述
2、UV/IR火焰
3、感温装置
4、感烟装置
这三个选项根据介质的属性判断是否使用,
一旦气体泄漏,发生危险时,立即发出警告,信号给到控制器,关断使用设备,避免更多的危害产生
火焰侦测器
感烟探测器
感温探测器
BSGS
可选项简述
5、管线伴热
有些气体气源压力很低,需要通过加热管道来增加流量
6、HEATING
同样是一种通过加热管道,来增加流量的措施,对于流量要求比较高时采用的一种加速流量的方法
7、抽风罩
气源在柜外有接头和吹扫用阀门,有些危险性气体,需要监控接头的可靠性,此时需要配置抽风罩
如设备没有配置抽风罩,在发货时需要配置吹扫阀门、单向阀、钢瓶接头和接头锁
面盘管道加热
抽风罩
GC
GC:气瓶柜
气源在柜内的气源处理设备
特种气体使用的封闭式气瓶放置与气体输送设备,一般情况下,储存量为47L的气体钢瓶。应用于多种特殊气体供应系统
功能型号
PLC控制
彩色触摸屏面
高压保压
自动吹扫
自动切换
紧急切断
远程自动关断
高压气源过滤
工艺气体管路调压
流量开关
auto guard
C1A
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C5A
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"ü"必备功能;"*"为可选功能
GR
GR:气瓶架
气源在柜外的气源处理设备
大宗气体使用的开放式气瓶放置与气体输送设备,一般情况下,储存量为47L的气体钢瓶。应用于多种无毒害气体供应系统
区分
气体名称
气体性质
可燃
助燃
毒性
腐蚀
一般气体
O2
·
N2
Ar
H2
·
He
CO2
Ne
Xe
GR
GR:气瓶架
GR的分类比较多,一般分有:
1、用于BSGS/GC的吹扫的和保压
常用气体高纯氮气
VCR连接,高压端工艺管径1/4",低压段工艺管径1/4"
相同双瓶工艺气体高低压配置
相同双瓶工艺气体双低压配置
高低压气体过滤