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常见的真空镀膜机维修.pptx

文档分类：IT计算机 | 页数：约14页举报非法文档有奖

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文档列表 文档介绍

当真空镀膜机出现故障后应首先要向使用
者了解故障的现象,之后要亲自开机观察故障,
这样才能更准确、更快、更合理的排除故障。
当真空镀膜机排除故障应先检测低真空是
否正常(机械泵、罗茨泵、管道、下室、蒸发室),
低真空正常后再开主泵,主泵正常后检测下室真
空中是否正常,下室真空正常再开高阀进行高真
0c79f0e 真空镀膜设备
空检测检漏,直至达到真空,极限真空、保真空、
恢复真空,如极限真空和保真空正常,而恢复真
空和真空不正常则可能主泵有问题。
以下列举常见故障及真空镀膜机维修方法:
一、当正在镀膜时真空度突然下降
1、蒸发源水路胶圈损环(更换胶圈)
0c79f0e 真空镀膜设备
2、坩埚被打穿(更换坩埚)
3、高压电极密封处被击穿(更换胶圈)
4、工转动密封处胶圈损坏(更换胶圈)
5、预阀突然关闭可能是二位五通阀损坏(更
换二位五通阀)
6、高阀突然关闭可能是二位五通阀损坏(更
0c79f0e 真空镀膜设备
换二位五通阀)
7、机械泵停机可能是继电器断开(检查继
电器是否正常)
8、烘烤引入线电极密封处被击穿(更换胶
圈)
9、挡板动密封处胶圈损坏(更换胶圈)
0c79f0e 真空镀膜设备
10、玻璃观察视镜出现裂纹、炸裂(更换玻
璃)
二、长期的镀膜机抽真空的时间很长且达不
到真空、恢复真空、极限真空、保真空:
1、蒸发室有很多粉尘(应清冼)
2、扩散泵很久未换油(应清冼换油)

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