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第五讲 IC工艺流程[PPT课件].ppt
文档分类:
高等教育
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文档介绍
第五讲 IC工艺流程[PPT课件].ppt
简单NMOS和CMOS器件平面工艺
复****工艺流程图
晶片准备
平面工艺
封装测试
硅片的类型标志
P(100)
P(111)
N(111)
N(100)
微电子制造工艺的主要内容
衬底制备—单晶生长;晶片的切、磨、抛;
薄膜技术—氧化、外延、蒸发;
掺杂技术—扩散、离子注入;
图形加工—制版、光刻(曝光、腐蚀)
热处理——退火、烧结、去除光刻胶
简单NMOS和CMOS器件平面工艺
Note!
第五讲 IC工艺流程[PPT课件] 来自淘豆网www.taodocs.com转载请标明出处.
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文档信息
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:
43
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0
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上传人
:
yzhlya
文件大小
:
1.54 MB
时间
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2017-12-22
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