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0.13um铜互连工艺的研究和改善的中期报告.docx
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汽车/机械/制造
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0.13um铜互连工艺的研究和改善的中期报告.docx
该【0.13um铜互连工艺的研究和改善的中期报告 】是由【niuww】上传分享,文档一共【1】页,该文档可以免费在线阅读,需要了解更多关于【0.13um铜互连工艺的研究和改善的中期报告 】的内容,可以使用淘豆网的站内搜索功能,选择自己适合的文档,以下文字是截取该文章内的部分文字,如需要获得完整电子版,请下载此文档到您的设备,方便您编辑和打印。、评委:我是XXX,。目前,单芯片上的晶体管数量越来越多,这就要求芯片的制造工艺必须有更高的精度和准确度。而铜互连工艺是制造高集成度芯片中一个重要的步骤。铜互连工艺是指将铜线嵌入芯片表面的孔和凸起部分,这样便形成了互连。这个工艺加强了性能,并且减少了电阻和电流测量中的误差。通过实验,我们得出了以下的研究成果:第一,优化了大面积的铜沉积过程。当大面积的铜沉积时,会有局部松弛,这会导致剥离和脱落。我们通过增加化学药品的浓度而改善这个情况。同时,我们也将沉积温度降低了3-5℃,从而减少了松弛的问题。第二,减小了铜线的厚度差异度。偏厚的铜线会导致电阻值的增大。我们通过在铜沉积前进行表面处理,使得铜线的厚度差异度减小到了1%以下。第三,提高了铜线的导电性。通过电解镀银和镀铜的方法,我们将铜线的导电性提高了35%。在接下来的研究中,我们将继续改善铜互连工艺的精度和准确度。我们计划通过研究垂直连接的铜线和更准确的铜沉积技术,来增强芯片的性能和可靠性。谢谢大家的关注。
0.13um铜互连工艺的研究和改善的中期报告 来自淘豆网www.taodocs.com转载请标明出处.
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