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GaN基HEMT材料生长与分析的中期报告.docx
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汽车/机械/制造
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GaN基HEMT材料生长与分析的中期报告.docx
该【GaN基HEMT材料生长与分析的中期报告 】是由【niuww】上传分享,文档一共【1】页,该文档可以免费在线阅读,需要了解更多关于【GaN基HEMT材料生长与分析的中期报告 】的内容,可以使用淘豆网的站内搜索功能,选择自己适合的文档,以下文字是截取该文章内的部分文字,如需要获得完整电子版,请下载此文档到您的设备,方便您编辑和打印。GaN基HEMT材料生长与分析的中期报告这里是中期报告的简要概述::对GaN材料生长、HEMT器件结构和性能进行了文献调研和理论分析,同时进行了基础实验验证。:采用低压气相沉积(LP-MOVPE)技术生长GaN材料,并对生长过程中的气相、反应室温度、气压等参数进行优化调整,以获得高质量的GaN材料。此外,还使用X射线衍射仪、扫描电子显微镜等技术对生长的GaN材料进行了表征和分析。:使用电子束光刻和湿法腐蚀技术制备了GaN基HEMT器件结构,并进行了电学特性测试,测量了器件的漏电流、阈值电压等参数,并对测试结果进行了分析。同时也进行了设备应力测试,探究了应力对HEMT器件性能的影响。:通过前期的理论和实验研究,成功生长了高质量的GaN材料,并利用所生长的材料制备了GaN基HEMT器件,初步验证了器件的工作性能,还进行了应力测试。未来还将继续进行对材料和器件的性能研究,深入探究GaN基HEMT的性能特点及其应用前景。
GaN基HEMT材料生长与分析的中期报告 来自淘豆网www.taodocs.com转载请标明出处.
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