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SiCN薄膜的制备及其光学参数的研究的中期报告.docx

文档分类：汽车/机械/制造 | 页数：约1页举报非法文档有奖

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该【SiCN薄膜的制备及其光学参数的研究的中期报告】是由【niuwk】上传分享，文档一共【1】页，该文档可以免费在线阅读，需要了解更多关于【SiCN薄膜的制备及其光学参数的研究的中期报告】的内容，可以使用淘豆网的站内搜索功能，选择自己适合的文档，以下文字是截取该文章内的部分文字，如需要获得完整电子版，请下载此文档到您的设备，方便您编辑和打印。。薄膜是一种新型的功能材料,具有较高的硬度、耐磨性和化学稳定性,被广泛应用于电子元器件、光学薄膜等领域。薄膜的制备方法及其光学性能,为其进一步应用提供基础研究支持。。在反应室中,通过控制局部温度和化学气体流量,使氨气及硅源、碳源(苯***)薄膜沉积在衬底上。制备过程中,需要对反应室温度、气体流量等参数进行精确控制,以达到较好的沉积效果。,通过紫外可见光谱仪测试薄膜在可见光域的吸收光谱和反射光谱,进一步研究其光学性能。实验结果表明,薄膜在可见光区域呈现出较高的透明度和较低的反射率,同时具有较高的折射率和色散率。,并对其光学性能进行了研究。实验结果表明,薄膜具有较好的光学性能,可应用于光学薄膜、光电子器件等领域。同时,实验中也发现了一些问题,如沉积速率不均匀、沉积温度及气压等工艺参数对沉积效果影响较大等,这些问题需要在后续研究中进一步探究和改进。

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