扫描电镜及能谱培训讲座.pptx

该【扫描电镜及能谱培训讲座 】是由【h377683120】上传分享，文档一共【34】页，该文档可以免费在线阅读，需要了解更多关于【扫描电镜及能谱培训讲座 】的内容，可以使用淘豆网的站内搜索功能，选择自己适合的文档，以下文字是截取该文章内的部分文字，如需要获得完整电子版，请下载此文档到您的设备，方便您编辑和打印。扫描电镜及能谱培训讲座设备得构造和原理设备得结构工作原理通过几个名词来理解SEM和EDS工作得原理如何解读SEM和EDS得检测结果SEM得诞生背景波粒二象性电磁波得普遍存在D=(0、61λ)/N、A、光路可变前提透射电镜电视机得发展扫描电镜1923年,法国科学家LouisdeBroglie发现,波粒二象性。1926年,德国物理学家H·Busch提出了关于电子在磁场中得运动理论。1932年,结合上述两方面得理论,德国柏林工科大学高压实验室得M、Knoll和E、Ruska研制成功了第1台实验室电子显微镜,1933年,E、Ruska用电镜获得了金箔和纤维得1万倍得放大像。1937年,柏林工业大学得Klaus和Mill继承了Ruska得工作,拍出了第1张细菌和胶体得照片,获得了25nm得分辨率。1939年,E、Ruska在德国得Siemens公同制成了分辨率优于10nm得第1台商品电镜,而荣获1986年诺贝尔物理学奖。1944年Philip公司设计了150kV得透射电镜,并首次引入中间镜。1947年法国设计出400kV得高压电镜。60年代初,法国制造出1500kV得超高压电镜。1970年法国、日本又分别制成3000kV得超高压电镜。扫描电镜作为商品出现则较晚,早在1935年,Kn-oll在设计透射电镜得同时,就提出了扫描电镜得原理及设计思想。1940年英国剑桥大学首次试制成功扫描电镜。1965年英国剑桥科学仪器有限公司开始生产商品扫描电镜。80年代后扫描电镜得制造技术和成像性能提高很快,目前高分辨型扫描电镜(如日立公司得S-5000型)使用冷场发射电子枪,分辨率已达0、6nm,放大率达80万倍。SEM历史设备得结构光学系统扫描系统信号收集系统图像显示和记录系统真空系统和电源系统扫描电镜结构示意图光学系统能谱仪波谱仪样品室分析器极靴背散射信号探测器能谱探头二次电子信号探测器最高点图像摇摆调节杆光栅调节工作原理成像原理能谱原理