《XPS检测分析方法》.ppt

该【《XPS检测分析方法》 】是由【相惜】上传分享，文档一共【16】页，该文档可以免费在线阅读，需要了解更多关于【《XPS检测分析方法》 】的内容，可以使用淘豆网的站内搜索功能，选择自己适合的文档，以下文字是截取该文章内的部分文字，如需要获得完整电子版，请下载此文档到您的设备，方便您编辑和打印。X—射线光电子能谱(X-rayPhotoelectronSpectroscopy)整理课件XPS的开展根本概念XPS的工作流程及原理利用XPS谱图鉴别物质XPS的实验方法XPS谱图的解释步骤XPS的特点主要内容:整理课件XPS的开展:XPS理论首先是由瑞典皇家科学院院士、乌普萨拉大学物理研究所所长K·Siebahn教授创立的。原名为化学分析电子能谱:ESCA(ElectronSpectroscopyforChemicalAnalysis)。1954年研制成世界上第一台双聚焦磁场式光电子能谱仪。XPS是一种对固体外表进行定性、定量分析和结构鉴定的实用性很强的外表分析方法。整理课件根本概念:光电子能谱:反响了原子〔或离子〕在入射粒子〔一般为X-ray〕作用下发射出来的电子的能量、强度、角分布等信息。X-ray:原子外层电子从L层跃迁到K层产生的射线。常见的X射线激发源有:Mg:Ka1,2(1254ev,)Al:Ka1,2(1487ev,)Cu:Ka1,2(8048ev,)Ti:Ka1,2(4511ev,)电子结合能:由光电过程的Einstein方程:hν=Eb+1/2mv2,求出:Eb=hν-Ek。整理课件XPS的工作流程:光源(X-ray)过滤窗样品室能量分析器检测器扫描和记录系统真空系统(×10-5—×10-8Pa)磁屏蔽系统(~1×10-8T)整理课件光电发射定律hγ=EB+EK即光子的能量转化为电子的动能EK并克服原子核对核外电子的束缚EBEB=hγ-EK整理课件1〕对气态原子或分子 hγ=EBv+EKv2〕对固体样品〔必须考虑晶体势场和外表势场对光电子的束缚作用以及样品导电特性所引起的附加项〕 hγ=EBF+EKF+ФSEBF:电子结合能,电子脱离原子核及其它电子作用所需的能量ФS:逸出功〔功函数〕,电子克服晶格内周边原子作用变成自由电子做需的能量。Ek:自由电子动能。光电发射定律整理课件俄歇电子(Augerelectron):当原子内层电子光致电离而射出后,内层留下空穴,原子处于激发态,这种激发态离子要向低能态转化而发生弛豫,其方式可以通过辐射跃迁释放能量,波长在X射线区称为X射线荧光;或者通过非辐射跃迁使另一电子激发成自由电子,这种电子就称为俄歇电子。对其进行分析能得到样品原子种类方面的信息。其过程为:A+hν(A+)*+e-(光电子)A++hν’(X荧光)A2++e-(俄歇电子)两者只能选择其一〔原子序数Z<30的元素以发射俄歇电子为主〕整理课件俄歇电子产生过程图解:hv(X-ray荧光)俄歇电子e-Energy处于激发态离子产生X-ray荧光过程处于激发态离子产生俄歇电子的过程整理课件XPS的工作原理:电离放出光电子X-ray样品能量分析器检测器(记录不同能量的电子数目)光电子产生过程:e-hν(X-ray)A(中性分子或原子)+hν(X-ray)A+*(激发态的离子)+e-(光电子)整理课件