该【基于白光干涉显微镜的偏摆式非球面轮廓测量技术研究的中期报告 】是由【niuww】上传分享,文档一共【2】页,该文档可以免费在线阅读,需要了解更多关于【基于白光干涉显微镜的偏摆式非球面轮廓测量技术研究的中期报告 】的内容,可以使用淘豆网的站内搜索功能,选择自己适合的文档,以下文字是截取该文章内的部分文字,如需要获得完整电子版,请下载此文档到您的设备,方便您编辑和打印。基于白光干涉显微镜的偏摆式非球面轮廓测量技术研究的中期报告本研究旨在基于白光干涉显微镜,提出一种偏摆式非球面轮廓测量技术,并进行初步实验验证。本报告主要介绍研究的背景、研究方法、实验设备和初步实验结果。一、研究背景非球面光学元件在光学系统中广泛应用,如透镜、棱镜、反射镜等,因其形状与球面不同,难以用传统的球面测试方法进行表征。目前,常用的非球面测试方法包括激光干涉、单色干涉、相位移测量等。然而,这些方法需要使用复杂的光学设备和复杂的数据处理程序,成本较高,操作复杂。因此,开发一种简单易用的非球面测试方法具有重要意义。二、研究方法本研究提出一种偏摆式非球面轮廓测量技术。该技术基于白光干涉原理,通过将样品放置在偏摆台上旋转,利用测量样品两个竖直方向的互相垂直的载入波前的相移差进行非球面形状测量。具体步骤如下:(1)将样品放置在偏摆台上,使其与光轴垂直;(2)利用白光干涉仪发出一束系数不同的平面波,照射在样品表面上;(3)记录样品旋转前后的干涉图像,通过干涉图像的分析计算载入波前的相移差;(4)根据相移差,利用菲涅尔公式计算出样品表面的高度差分布,从而得到样品的非球面轮廓。三、实验设备本实验采用的设备如下:(1)白光干涉仪:用于发出平面波并记录干涉图像;(2)偏摆台:用于放置和旋转样品;(3)计算机:用于数据处理和结果分析。四、初步实验结果本研究采用了一个球形透镜进行实验验证。实验结果显示,偏摆式非球面轮廓测量技术能够成功地测量出透镜表面的非球面形状,测量结果与参考值吻合良好。同时,该技术具有简单、易用、成本低等优点,适用于工业生产中的非球面光学元件测量。五、结论本研究提出了一种基于白光干涉显微镜的偏摆式非球面轮廓测量技术,通过实验验证,证明其具有一定的测量精度和可行性。未来将进一步完善技术细节和开展更广泛的实验验证,以进一步推广该技术在非球面光学元件测量中的应用。
基于白光干涉显微镜的偏摆式非球面轮廓测量技术研究的中期报告 来自淘豆网www.taodocs.com转载请标明出处.