俄歇电子能谱AES.pptx

该【俄歇电子能谱AES 】是由【小屁孩】上传分享，文档一共【49】页，该文档可以免费在线阅读，需要了解更多关于【俄歇电子能谱AES 】的内容，可以使用淘豆网的站内搜索功能，选择自己适合的文档，以下文字是截取该文章内的部分文字，如需要获得完整电子版，请下载此文档到您的设备，方便您编辑和打印。俄歇电子能谱2021/10/101三种最基本的表面分析方法名称俄歇电子能谱X射线光电子能谱二次离子质谱AESXPSSIMS一次束电子X射线离子检测粒子俄歇电子光电子二次离子EABC=EA-EB-ECEk=hν-Ebm/e特点定量较好带有化学位移信息检测灵敏度高分辨率高表面损伤小ppb缺点轻元素不能分析分辨差表面损伤(X射线不易聚焦)定量困难共同点:元素种类分析(成分分析、痕量分析)、表面分析2021/10/102俄歇电子能谱(AugerElectronSpectroscopy简称AES)一、简介二、基本原理三、定性及定量分析方法四、俄歇谱仪介绍五、主要应用2021/10/103一般仪器原理示意图2021/10/104一、简介当电子束照射到样品表面时,将有带着该样品特征的Auger电子从样品表面发射。从Auger电子可以得到如下信息:发射的Auger电子能量确定元素种类Auger电子数量元素含量+电子束聚焦、偏转和扫描元素面分布+离子束溅射刻蚀元素深度分布AES是一种重要的材料成分分析技术。其最大特点是:Δ信息来自表面(3-30?)Δ具有微区分析能力(横向与深度分辨率好)Δ定量分析较好2021/10/105二、(1925年,)用某种方法使原子内层电子(如K层)电离出去,内层出现空位。电离原子去激发可采用如下两种形式:2021/10/1062021/10/107Δ辐射跃迁:一外层电子填充空位后,发射出特征X射线(例L3上电子填充K能级上空位,发出X射线Kα1)Δ无辐射过程(即Auger过程):一外层电子填充空位,使另一个电子脱离原子发射出去(例L1上电子填充K能级空位,同时L3上的电子发射出去,称KL1L3俄歇跃迁)。2021/10/108特点:Δ第二个电子在弛豫过程中释放的能量,须大于或至少等于第三个电子的束缚能。Δ终态为二重电离状态。ΔH和He只有一个K壳层,最多只有2个电子,无法产生Auger跃迁。C-K跃迁(Coster-Kronig跃迁):终态空位之一与初态空位处于同一主壳层内即WiWpYq(p>i)超C-K跃迁:两终态都与初态空位处于同一主壳层内即WiWpWq(p>i,q>i)C-K跃迁速度快,△t小,由测不准原理(△E)(△t)h,ΔE大,带来能量的分散,使谱线展宽。2021/10/=EA(Z)-EB(Z)-EC(Z)EA、EB、EC分别为A、B、C能级上电子的结合能,是原子序数为Z的元素的函数,是该种元素原子所特有的,因此EABC也是该种元素特有的。修正:EABC=EA(Z)-1/2[EB(Z)+EB(Z+1)]-1/2[EC(Z)+EC(Z+1)]相邻原子序数该能级的能量2021/10/1010