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8-第八讲--薄膜材料物理--第三章金属薄膜的导电.ppt

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第三章金属薄膜的导电(续) 第八讲
§3-5外因对连续薄膜电导的影响
连续薄膜的电阻率温度系数TCR
电阻的温度系数约等于薄膜电阻率的温度系数:
纯金属
温度对电阻率的影响来自两个方面:
式中
是薄膜电阻率的温度系数
由于薄膜中的晶界、杂质和缺陷密度远大于块状材
料,所以薄膜电阻率大于块材的,但薄膜电阻率的温
度系数却小于块材的。
薄膜(金属)可以用来制造热敏电阻器。
下面求连续薄膜的电阻率温度系数
由:
其中:
因为
所以有:
根据电阻率与电导率两者温度系数的关系:
所以有:
而:
若薄膜表面为部分漫反射时:则
可见:
表面散射使薄膜的电阻率大于块状的,但是,却使
它的电阻率温度系数小于块材的。符合马提生定则:
随着金属材料电阻率的增大,其温度系数减小。
设基片受到一纵向拉力,则应变为:
横向:

根据电阻应变系数定义:
纵向:
其厚度应变为:
∴薄膜电阻的应变系数:
在纵向拉力作用下,薄膜的体积应变为:
而
式中:
为体积压缩率
若薄膜在垂直电流方向受到一拉力时,
电阻应变系数为:
所以电阻应变系数与纵向拉力ρ的关系:

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8-第八讲--薄膜材料物理--第三章金属薄膜的导电.ppt

9-第九讲--薄膜材料物理--第四章薄膜的表面和界面+

7-第七讲--薄膜材料物理--第三章金属薄膜的导电

6-第6讲--薄膜材料物理--第三章金属薄膜的导电

5--第五讲--薄膜材料物理--第三章金属薄膜的导电

4-第四讲--薄膜材料物理--第二章薄膜的力学性质

3-第三讲--薄膜材料物理--第二章薄膜的力学性质

2--第二讲--薄膜材料物理--第一章薄膜的形成

11-第十一讲--薄膜材料物理--第四章薄膜的表面和界面

10-第十讲--薄膜材料物理--第四章薄膜的表面和界面

1--第一讲--薄膜材料物理--第一章薄膜的形成