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薄膜物理.ppt


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文档列表 文档介绍
《薄膜物理》 薄膜生长过程中的微观结构研究
20081107 蒋励
薄膜生长的微观结构研究
0
参考文献
《薄膜物理》
作者:薛增泉 页数:485  
出版日期:1991年09月第1版
薄膜生长的微观结构研究
1
51页
目录
引言
薄膜的形成过程
生长中缺陷的掺和
透射电子显微镜
扫描电子显微镜
反射电镜研究表面台阶的重构
场离子显微镜研究表面原子的扩散徒动和脱附
扫描隧道显微镜
原子力显微镜
薄膜生长的微观结构研究
2
51页
思路
薄膜特性
直接观测手段
透射电子显微镜
扫描电子显微镜
反射电镜
场离子显微镜
扫描隧道显微镜
原子力显微镜
薄膜的形成过程
生长中缺陷的掺和
表面台阶及重构
表面原子
扩散徒动和脱附
微观
薄膜生长的微观结构研究
3
51页
引言
薄膜生长的微观结构研究
4
引言
薄膜定义
制备方法
薄膜分类
制备规律及原则
薄膜生长的微观结构研究
5
51页
引言
薄膜定义
在厚度方向(Z)为10A~几十um厚,
而X,Y方向无限延长的固体材料
薄膜分类—结构
单晶膜
多晶膜
非晶膜
含金属颗粒膜
薄膜生长的微观结构研究
6
51页
引言
制备方法
1。块体材料切割或解离。Eg:云母,Si
2。在基底上镀制薄膜
气相液相沉积
真空蒸积
溅射沉积
严格控制的外延生长
薄膜生长的微观结构研究
7
51页
引言
制备规律及原则
制备影响条件
制备原则
适合的基底
沉积速率
温度
向自由能更低,更稳定方向转化
薄膜生长的微观结构研究
8
51页
薄膜形成过程
薄膜生长的微观结构研究
9

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