电子显微分析02修复的.pptx

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课堂小议
根据电子与固体物质相互作用体积,我们可知下列哪种物理信号能量最低。
A 二次电子
B 透射电子
C 背散射电子
D 俄歇电子
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课堂小议
原子对电子的散射包括
A 原子核对电子的非弹性散射
B 原子核对电子的弹性散射
C 核外电子对电子的非弹性散射
D 核外电子对电子的弹性散射
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课堂小议
下列哪些因素可以影响电子与样品相互作用体积范围?
A 试样原子序数
B 入射电子的能量
C 电子束入射方向
D 试样质量
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课堂小议
下列关于电子束与样品相互作用体积叙述正确的是
A 背散射电子与二次电子从本质上是一样的,均是被电子束轰击出来并离开样品表面的核外电子。
B 二次电子能量高于背散射电子
C 二次电子的产额和原子序数之间没有明显的依赖关系
D 背散射电子的产额和原子序数之间没有明显的依赖关系
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课堂小议
B(z)
透镜中心
右图是电磁透镜的轴向磁场强度分布图,请据图选择哪一条曲线代表了极靴磁透镜?
A 蓝线
B 黑线
C 红线
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透射电镜(TEM)
透射电镜是一种高分辨率、高放大倍数的显微镜,是材料科学研究的重要手段,能提供极微细材料的组织结构、晶体结构和化学成分等方面的信息。~,放大倍数为几万~几十万倍。
照明源为波长极短的聚焦电子束
试样为对电子束透明的薄膜样品(几十纳米)
成象信号为透射电子
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工作原理
电子枪产生的电子束经1~2级聚光镜后均匀照射到试样上的某一观察微小区域上,入射电子与试样物质相互作用,由于试样很薄,绝大部分电子穿透试样,其强度分布与所观察试样区的形貌,组织,结构一一对应。
将电子信号转变为人眼可见的光信号
阴极发射电子阳极加速聚光镜会聚作用样品物镜放大中间镜放大投影镜放大荧光屏成像照相记录
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透射电镜的结构
电子光学系统
真空系统
电源系统
操作控制系统
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电子光学系统(镜筒)
镜筒一般是直立积木式结构.
顶部是电子枪,接着是聚光镜,样品室,物镜,中间镜和投影镜,最下部是荧光屏和照相装置.
照明系统、成像放大系统及图像观察记录系统。
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照明系统
样品室
成像系统
观察和记录系统
1. 照明系统:由电子枪和使电子束会聚的聚光镜(调节装置)。
作用是提供一束亮度高、照明孔径角小、平行度好、束流稳定的照明源。
亮度—由电子发射强度决定
大小—主要由聚光镜的性能决定。