浴法抛光中抛光粉粒径对去除效果影响的试验研究.docx

第40卷第6期
2014年11月
光 学 技 术
OPTICAL TECHNIQUE

Nov. 2014
文章编号:1002-1582(2014)06-0486-06
浴法抛光中抛光粉粒径对去除效果影响的试验研究*
张杨1,徐清兰2,陈梅1,张蓉竹1
(,四川成都 610064)
(,四川成都 610209)
摘要:为了分析抛光粉粒径对材料去除效果的影响,选用不同的平均粒径以及不同比例混合氧化铈抛光粉分别对 K9玻璃进行了抛光试验。对抛光后的工件表面粗糙度及去除量进行了定量研究。结果表明,在试验条件相同的情况下,不同平均粒径的抛光粉,粒径越小,抛光后的元件表面粗糙度越好。从使用不同比例的混合抛光粉试验中可以看出,粒度的均匀性是影响工件表面粗糙度的重要因素。结合抛光粉粒度分布图和试验结果可以看出,抛光粉粒子的分布范围越小,以及各粒径大小分布在峰值附近的粒子所占体积百分比越接近,加工后的工件表面粗糙度越小。
关键词:浴法抛光;抛光粉粒径;抛光粉均匀性;表面粗糙度;去除速率
中图分类号:TG58 文献标识码:A
DOI:-1879/
Experimentalstudyoftheinfluenceofslurryparticlesize onmaterialremovalconsequentinbowl-feedpolishing
ZHANGYang1,XUQinglan2,CHEN Mei1,ZHANGRongzhu1
(,SichuanUniversity,Chengdu610064,Sichuan,China )
(,Chengdu610209,Sichuan,China)
Abstract:inordertoanalyzetheinfluenceofslurryparticlesizeonmaterialsremovalconsequent,inexperiment,dif- , theresultofquantitativeresearchonthematerialremovalrateandroughnessshowsthat,underthesameexperimentcon- dition,thesmallertheaveragesizeofslurryparticleare, theexperimentaboutdifferentproportionsofslurryparticle,theuniformityofslurrypar