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高纯度六氟化硫.doc


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高纯度六***化硫
高纯六***%(5N)。去年,黎明院高纯六***化硫产品已经通过了中国台湾某著名企业的严格检测清洗和蚀刻试验,反馈的检测报告表明该院产品完全符合“5N”指标,产品质量达到国际先进水平,其中某些指标还领先于美、日、韩等国企业的高纯六***化硫产品,这种认可在国内特气生产企业中尚属首家。
逐年随着客户的增多,目前已形成年产500吨的生产能力,并销往美国、韩国、台湾等国家和地区,在同行业处于领先地位。
高纯度六***化硫质量标准:
检验项目
纯度%
氮气ppmv
氧气ppmv
四***化碳ppmv
一氧化碳ppmv
二氧化碳ppmv
酸度ppmv
水分ppmv
指标值

≤3
≤3




≤2

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