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薄膜太阳能电池的制造.ppt

文档分类：研究报告 | 页数：约70页举报非法文档有奖

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文档列表 文档介绍

第十章薄膜太阳电池的制造
空气环境的要求
空气环境的要求
(1)洁净度
大环境----低于10万级(小环境的气源区)
小环境----按不同工位而异
(a)清洗区---低于1万级
(b)风干区---低于1000级(风刀最好低于100级)
(c)激光切割区---低于1万级
(d)装片、进片区---低于1000级
(2) 相对湿度
(a) 工作环境---低于70%
(b) TCO玻璃基板储存---低于40% (不超过60天)
空气环境的要求
清洗用纯水
清洗用纯水
(3) 非离子悬浮物滤除(悬浮物来源)
(1) 水源的选择---稳定性---组分
(2) 水质---去离子6—8MΩ即可
大宗气体纯化处理
(1) 清洗、冲洗、充气用气体---颗粒过滤与水气去除
(2) 纯化处理后气体除油问题
大宗气体纯化处理
特种气体使用
特种气体使用
(4) 尾气处理(环保要求)
(1) 安全、检测(+,- 漏气率)、报警系统
(2) 去O,N,C 过滤器
(3) 气路正压保持(稀释气体)

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