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多晶硅废水.ppt

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文档列表 文档介绍

多晶硅废水处理
技术介绍
宇星科技发展(深圳)有限公司
刘超航
技术介绍
3、治理对策
1、废水产生
2、污染分析
4、工程实例
5、宇星简介
多晶硅生产工艺
1、废水产生
将硅粉与***化氢反应合成三***氢硅、三***氢硅精馏提纯、达到规定纯度后,三***氢硅经过氫还原制备多晶硅,还原尾气通过干法回收,将尾气中的三***氢硅、氢气、***化氢返回系统循环利用,四***化硅氢化转化成三***氢硅返回系统利用,从而形成物料闭路循环、物料综合回收利用的洁净生产工艺系统。
、酸性废水
1、废水产生
三***氢硅合成工序的废酸
精馏工序残液
停炉清洗废水
废硅粉处理工序的废液
废气处理工序的排水
设备及地坪冲洗废水
、含***废水
1、废水产生
硅芯制备工序和产品整理工序的废氢***酸和废***
硅芯和产品酸洗工序的清洗液
、生活污水
1、废水产生
员工生产生活过程中产生的废水
实验室排放废水
、清净下水
1、废水产生
脱盐水装置排水
锅炉冷却水
RO浓水
、酸性废水
2、污染分析
主要污染指标是PH:主要含有酸、碱、SiO、SS等污染物。
、含***废水
2、污染分析
主要污染指标是F:主要含有***化物、SS等。
、生活污水
2、污染分析
主要污染指标是COD和氨氮:一般的生活污水,经过二级生化处理可达标排放

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