手套箱等设备技术参数.doc

手套箱等设备技术参数

序号
主要技术要求及配置要求
1
设备名称及采购数量:手套箱3套,气体净化系统2套
一、技术参数:
(一)手套箱:
1、箱体要求:304不锈钢材质, 尺寸分别≥2000mm*1000mm,1500mm*780mm, 1500mm*780mm;
★2、箱体泄漏率:<%/h;
★3、微型过渡舱1个(长≥400mm,直径≥150 mm),T型过渡舱2个(长≥600mm,直径≥390mm),均须内置滑盘;
★4、前窗面板为Lexan材质,厚度≥10mm,手套孔圈为POM材质;
5、防疲劳照明系统,需有防漫射功能,安装于前窗顶部;
6、溴丁基橡胶手套,厚度≥ mm,末端口径≥220 mm;
7、必须配置三层高度可调的搁物架;
8、HEPA过滤器的过滤级别可达H13,风速≥,洁净度千级以上;
9、箱体出气口带有有机溶剂吸附装置;
10、箱体安装石英玻璃窗;
11、箱体底部配有支架和旋转脚轮,可微调水平。
(二)气体净化系统:
1、水氧净化系统:进口循环泵;净化柱自动再生程序;SUS304不锈钢管道;
2、可得气体纯度:水<1 ppm,氧<1 ppm;
3、主控阀:MB EPV-40 VAT电磁气动阀;
4、PLC控制,箱体工作压力在+/-15 mbar范围内进行调节,带有可调节压力的脚踏开关;
5、配有真空泵,真空度2x10-3 mbar以上,抽速≥12 m3/h,原厂气镇和油雾过滤器;
6、水探头:检测范围0-500 ppm;耐腐蚀,PLC集成控制,灵敏度≥10 mv/ppm,精确度≥ ppm,设计寿命5年以上;
7、氧探头:检测范围0-1000 ppm;专为手套箱气氛设计,耐腐蚀,PLC集成控制,灵敏度不低于10 mv/ppm, ppm,设计寿命5年以上;
8、有机溶剂吸附装置,5kg以上活性炭可更换,灰尘吸附功能,抽真空功能。
(三)加热面板:
箱体内须配备2个加热面板,参数如下:
1、加热输出功率:≥1000 W ;
2、加热温度范围:50-600 °C ;
3、带传感器控温精确度:±3 K ;
4、介质温度稳定性:±3 K ;
5、加热速度:≥5 K/min。
(四)系统集成要求:
3个箱体通过T型过渡舱连接成一套手套箱系统,3个舱门,中间箱体右侧另配备微型过渡舱。
二、配置要求:
1、箱体集成气体净化系统;
2、6个DN40KF法兰接口
3、BNC和BANANA插头位于箱体上
4、电路改造:符合设备及空调安装要求,配置多路接线插座
2
设备名称及采购数量:匀胶机1台
一、技术参数:
★匀胶机为非标定制,操作界面须与手套箱底板融为一体,真空、补气管路与手套箱集成控制系统必须完全融为一体。所集成甩胶机参数如下:
1、匀胶机须通过手套箱的PLC控制系统进行设置;
2、整机泄漏率:<%/h;
3、顶部带有透明密封罩;
4、能处理尺寸不小于 8''的wafer或6''x6''的基片;
5、转速范围:100~7000 rpm;