薄膜材料的制备.pptx

2018/9/16
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主要内容
薄膜的制备方法,含:
---真空技术基础
---PVD(真空蒸发、溅射、离子镀膜)
---CVD
---溶液镀膜法
典型的薄膜材料的制备
---金刚石薄膜
---ZnO薄膜
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真空技术基础
真空及真空的常用单位
真空的分类
真空泵
真空的测量
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真空及其单位
真空是指低于一个大气压的气体空间。常用“真空度”度量。真空度越高,压强越小。
常用计量单位:Pa, Torr, mmHg, bar, atm.。关系如下:
1mmHg=,
1 Torr=atm/760=≈1mmHg
1 bar=105Pa
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粗真空:1×105~1×102Pa 目的获得压力差。电容器生产中的真空侵渍工艺
低真空:1×102~1×10-1Pa 真空热处理。
高真空:1×10-1~1×10-6Pa 真空蒸发。
超高真空:<1×10-6Pa 得到纯净的气体;获得纯净的固体表面。
真空的分类
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真空系统的组成
典型的真空系统包括:
---真空室(待抽空的容器);
---真空泵(获得真空的设备);
---真空计(测量真空的器具);
---必要的管道、阀门和其他附属设备。
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真空泵
获得真空的设备。至今还没有一种泵能直接从大气一直工作到超高真空。因此,通常是将几种真空泵组合使用.
前级泵:能使压力从1个大气压开始变小,进行排气的泵
次级泵:只能从较低压力抽到更低压力的真空泵。
如机械泵+扩散泵系统,为有油系统; 吸附泵+溅射离子泵+钛升华泵系统,为无油系统。
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主要真空泵的排气原理与范围
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真空的测量
热偶真空计:利用低压强下气体的热传导与压强有关的原理制成的真空计。典型的有热阻真空计和热偶真空计两种。
电离真空计:目前测量高真空的主要设备
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主要内容
薄膜的制备方法,含:
---真空技术基础;
---PVD(真空蒸发、溅射、离子镀膜)
---CVD
---溶液镀膜法
典型的薄膜材料的制备
---金刚石薄膜
---ZnO薄膜
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PVD的含义
物理气相沉积PVD(Physics Vapor Deposition,主要是在真空环境下利用各种物理手段或方法沉积薄膜。