微电子技术及其应用.ppt

微电子技术及其在当今社会中的应用
微电子和微电子技术
半导体材料与
半导体集成电路工艺技术
微电子技术发展及现状
微电子技术应用和作用
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微电子和微电子技术
微电子
微型的电子电路
微电子技术
微型电子电路技术
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半导体材料和半导体集成电路
半导体及其基本特性
当半导体中的杂质含量很高时,电导率很高,呈现一定的金属性;
纯净半导体在低温下的电导率很低,呈现出绝缘性。
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半导体材料和半导体集成电路
集成电路中的基本元件结构
阴极阳极集电极基极发射极源极栅极漏极
N P N P N+ N+ 金属 N+
P型衬底 P型衬底 P型衬底 P型阱
PN结二极管 NPN晶体管 nMOS晶体管
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半导体集成电路工艺技术
双极集成电路工艺
***注入
SiO2 SiO2
p_si 衬底

(a)埋层制备
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半导体和半导体集成电路
双极集成电路工艺
N外延层
P衬底 N+ 埋层
(b) 外延层制备
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半导体集成电路工艺技术
双极集成电路工艺
光致抗蚀剂
钝化层
N外延层
N+


P

(c)隔离区窗口制备
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半导体和半导体集成电路
双极集成电路工艺
沟道隔断区硼离子注入
N N
N+
P
(d) 氧化物隔离区制备(1)
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半导体集成电路工艺技术
双极集成电路工艺

N N SiO2
P+ N+ P+ 沟道隔断区
P
(e) 氧化物隔离区制备(2)
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半导体集成电路工艺技术
双极集成电路工艺
基区硼离子注入


光致抗蚀剂
N SiO2
P基区 P+

N+埋层
(f)基区制备
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