MSDS 培训(特气部分).ppt

——特种气体部分
设备运行部:陈波
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FAB区域各设备所需气体
CVD: SiH4、NH3、NF3、N2O、O2、He、Ar、H2
RIE: SF6、CL2、O2、Ar、CF4
ELA: NE、HCL、XE、O2
蒸度: H2N2、O2、Ar
Dry Remove : H2、O2、Ar 、He 、CF4
ALMOAL : Kr、Ar
CDE : O2、He 、CF4
ION doping : Ar
SPC : Ar
ITO : Ar 、O2
IP:B2H6
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易燃、易爆
SiH4、NH3 、H2 、 20%PH3/H2 、10%B2H6
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SIH4
性状:SIH4为无色有窒息性味道的高压气体,(air=1)。有自燃的特性,%~96%。时量平均容许浓度(TWA):5PPM
毒性:硅烷的毒性为急性、局部性。
危险性:在空气中会自燃,爆炸,无需引火点。SIH4若发生泄漏,则可能燃烧或爆炸,其燃烧的副产物,sio2会对眼睛,呼吸道及皮肤产生刺激,仍要避免不必要的接触
钢瓶储存温度不可高于125℉(52℃)、热源、明火和火花。可能与空气和氧化剂形成爆炸性混合物。
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NH3
性状:无色,有刺激性恶臭的气体。在适当压力下可液化成液氨,同时放出大量热。当压力减低时,则气化而逸出,同时吸收周围大量热。有毒,空气中最大允许浓度为50ppm。本品易溶于水、乙醇和***,水溶液呈碱性。
毒性:不管是在气体状态还是在水溶液状态,都象碱那样起作用。根据浓度的不同,其作用也就不同。其刺激缓慢,到对于鼻、喉、肺、眼的敏感的覆膜产生强烈的刺激。在氨蒸气浓度超过700ppm以上的浓度中受害半小时以上,则眼睛就要引起不治的伤害。如吸入6000~10000ppm的氨污染空气,就会产生急剧的痉孪及喉头炎症等暴卒死去。如泄漏到大气中,即使浓度相当低,也能够通过刺鼻的臭气来检测。由于氨蒸气对水的溶解度很高,所以要刺激湿的皮肤表面。
危险性:受到猛烈撞击使钢瓶受到损伤时,气体外逸会危及人畜健康与生命。遇水则变为腐蚀性氨水,受热后瓶内压力增大。~%时,遇火星会引起燃烧爆炸。有油类存在时,更增加燃烧危险。
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20%PH3/H2
性状:无色气体,剧毒。,吸入即中毒。能溶于乙醇、***,微溶于冷水,不溶于热水。极易燃烧。是一种较强的还原剂。平时制得的PH3中因含有少数的二磷化四氢,在空气中能自燃。
毒性:急性中毒表现为中枢神经受害,引起厉害的痉挛,并伴有呼吸困难、血压下降、呕吐、腹泻、衰弱和发抖。很多场合与食物中毒症兆相似,常常诊断错误。慢性中毒时,将产生抗胆硷脂酶那样的中枢神经系统反应,并伴有牙痛、下巴浮肿及下颚坏等。征兆有:胸部郁闷、头痛、眼花(发晕)、食欲不振,容易自然骨折、体重减轻、不安以及疲劳、贫血、干渴。。
危险性:能自燃,受高热分解放出有毒的PO4气体。遇氧化剂发生强烈反应。遇火种立即燃烧爆炸。
灭火时应戴防毒面具
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H2
性状:无色无味的压缩气体。
毒性:无毒;只造成窒息、人体会因急速缺氧造成受伤甚至死亡。
应该注意超过其空气中爆炸下限(既浓度超过4%),会造成缺氧及爆炸性的危害。中等浓度吸入造成晕眩、头痛、反胃、呕吐、意识不清。
危险性:燃烧时发出肉眼难见的淡蓝色火焰,氢气极仪易点燃,即使是静电火花也会产生燃烧爆炸。曝露于高热或火焰时,钢瓶内压力会上升,大部分的钢瓶皆被设计可由钢瓶阀的破裂片释放高压气体。如果破裂片失效,可能导致爆炸。。
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毒性、腐蚀性
CL2 、 HCL、 NH3、NF3 、10%B2H6 、 20%PH3/H2
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