第二章电镜的基本原理和构造
第一节透射电镜
一、电镜的发展历史
1932年鲁斯卡发明创制了第一台透射电子显微镜实验装置(TEM)。
相继问世了扫描透射电子显微镜(STEM)、扫描电子显微镜(SEM)以及上述产品与X射线分析系统(EDS、WDS)的结合,即各种不同类型分析型电子显微镜。
1986年,宾尼格和罗雷尔先后研制成功扫描隧道电子显微镜(STM)和原子力电子显微镜(AFM),使人类的视野得到进一步的扩展。
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20世纪20年代,发现电子流具有波动的性质,是一种电磁波,,,,今天的透射电子显微镜(TEM)不仅是一台放大倍数可达100万倍以上,可以直接分辨小到一两个埃的单个原子的显微镜,并且还能进行纳米尺度的晶体结构及化学组成分析,成为全面评价固体微观结构的综合性仪器.
二、透射电镜(TEM)基本原理
1. 显微镜的分辨率
光学显微镜的分辨率为光波波长的一半(约为2000Å),,因此光学显微镜最大放大倍数为1000倍, 超过这个数值并不能得到更多的信息,。
显微镜分辨率≈λ/2
放大倍数= 眼睛分辨率/显微镜分辨率
根据以上公式,要提高分辨率和放大倍数,必须降低照明光源的波长
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