陶瓷衬底薄膜太阳能电池的制备.pdf

�万方数据
陶瓷衬底薄膜太阳能电池的制备������1��������2������1������������1����������1������3��������3言引2��������3������������陶瓷衬底晶体学参数和硅不匹配带来的影响稀有金属材料与工程������������州���多晶硅薄膜电池是在一定衬底上用某种方法生长单层或多层多晶硅薄膜,然后制成太阳电池。因为薄膜厚度仅十几到几十微来,所以能大大节省材料。加上多晶硅薄膜电池和其他薄膜电池相比较高的转化效率和稳定的应用性,使它成为太阳能电池大幅度降低����������������j��目前所采用的衬底主要有:多晶硅衬底或冶金硅������������siC������������������������������衬底,甚至有人使用不锈钢衬底。目前所获得的较好结果主要有:日本三菱公司在��衬底上制作的多晶硅薄膜太阳能电池,其效率达�.�ィ坏鹿鶩������������������sic����������������������������池,效率分别为�%和��%。值得注意的是,在这些较好结果的获得过程中火都采用了��医熔再结晶�际酢薄癑。清华大学新型陶瓷与精细工艺国家重点实验室采用快速热沉积��募际����制备陶瓷��������������������������J������������������瓷衬底的引入导致了一系列的问题,影响了最终的电池性能,本研究详细分析了衬底可能导致的不利����������r��������������������������������工艺的可行性。采用陶瓷设计和制各工艺制各多晶硅薄膜太阳能电池用陶瓷衬底,并经过打磨、抛光、清洗等工艺制备出表面致密、平整、清洁的样品待用。以����T�掀�澹�捎肦��工艺在石英反应器中沉积����∧ぁF�次狧�蚐���的混合物,其配比为��篛.��ぷ餮沽ξ�.��。石英管内配有石墨样品托架,采用感应式加热将石墨样品托架加热到��℃,然后在陶瓷衬底上迅速沉积薄膜。经过扩散制各�狽结,表面电极制各等工艺制备陶瓷衬底多晶硅薄膜太阳能电池样品。陶瓷衬底在制备过程中杂质影响用陶瓷作为多晶硅薄膜太阳能电池的衬底,虽然能够很好的适应电池制各过程中的高温工艺,并且大幅度的降低电池成本,但是不可避免的,陶瓷衬底在������������������������������������l��������会严重影响电池效率,特别是在多晶硅薄膜沉积过程中不利于晶粒的长大并引入缺陷和复合中心等不利因��������������1������������������������������用陶瓷衬底的清洗工艺,可以有效清除衬底中的各种杂质,避免因为衬底杂质的引入对薄膜沉积和电池效率的影响。在沉积过程中多晶硅薄膜的质量很大程度上受到衬底性质的影响,特别是薄膜晶粒长大的程度,和衬第�卷��年(1������������������������������100084)(2����������������������������5(3������������������������100083)摘要:、热膨胀系数等热力学参数和硅不匹