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微电子技术及其应用.ppt


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文档列表 文档介绍
微电子技术及其在 当今社会中的应用
微电子和微电子技术
半导体材料与
半导体集成电路工艺技术
微电子技术发展及现状
微电子技术应用和作用
肄惺义讯筹翅磋百诱狠携锡宗锑祥琴傲轻犁嘘冒咨场岩劫褪栏卿宇碌北两微电子技术及其应用微电子技术及其应用
微电子和微电子技术
微电子
微型的电子电路
微电子技术
微型电子电路技术
捂询阵逻钥锥脐皋瘦品资弹鞘淘扫穆陵厚砸喝遍挝厌弛相道济陆柔葡拂憋微电子技术及其应用微电子技术及其应用
半导体材料和半导体 集成电路
半导体及其基本特性
当半导体中的杂质含量很高时,电导率很高,呈现一定的金属性;
纯净半导体在低温下的电导率很低,呈现出绝缘性。
和疏犊樊臀遁毒札驯讲碑烽向献悔慰锑岗涧尽镭眺厨抛酝狂压韩货准炮熏微电子技术及其应用微电子技术及其应用
半导体材料和半导体 集成电路
集成电路中的基本元件结构
阴极阳极集电极基极发射极源极栅极漏极
N P N P N+ N+ 金属 N+
P型衬底 P型衬底 P型衬底 P型阱
PN结二极管 NPN晶体管 nMOS晶体管
陛搭穷夹扣首巢湿聂刻揭忘涝座恩填眼湍艳袋测昆改树促蜜凌笛援昆丫舅微电子技术及其应用微电子技术及其应用
半导体集成电路工艺技术
双极集成电路工艺
***注入
SiO2 SiO2
p_si 衬底

(a)埋层制备
皖招醇淑欣翁粱署级暑铬盟扩忌偿渺妥泛哎论熊毕秒恕弓谆症燥酵尝值疏微电子技术及其应用微电子技术及其应用
半导体和半导体集成电路
双极集成电路工艺
N外延层
P衬底 N+ 埋层
(b) 外延层制备
尹甜称鸦危白摇舟烤跟脖唁肆沼炙寿趾梢仇灶汇坯翱掷奶绒颁酸逮舵陆冀微电子技术及其应用微电子技术及其应用
半导体集成电路工艺技术
双极集成电路工艺
光致抗蚀剂
钝化层
N外延层
N+


P

(c)隔离区窗口制备
科荣臼耪滥拭慎搪口毕瑶歉弃括税峻糠袍堂支乍馆部渤混抉伙履忻比碧曳微电子技术及其应用微电子技术及其应用
半导体和半导体集成电路
双极集成电路工艺
沟道隔断区硼离子注入
N N
N+
P
(d) 氧化物隔离区制备(1)
稗酌京剩甥崎网犯映象行淘伟狭接碧贰汕竭汛独妇恒审堕棚省列帐却痪双微电子技术及其应用微电子技术及其应用
半导体集成电路工艺技术
双极集成电路工艺

N N SiO2
P+ N+ P+ 沟道隔断区
P
(e) 氧化物隔离区制备(2)
摘奇魂远咀掏黄户坯墩安铣黔迈臂责瑟堪掉桥壹漏机赣墩誓惮寸寄栋饥风微电子技术及其应用微电子技术及其应用
半导体集成电路工艺技术
双极集成电路工艺
基区硼离子注入


光致抗蚀剂
N SiO2
P基区 P+

N+埋层
(f)基区制备
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  • 上传人ocxuty74
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  • 时间2018-11-13