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学士学位毕业论文

便携科研实验用真空蒸发镀膜系统的设计






作者姓名: 刘瑞琪
指导教师: 李建昌
学院: 机械工程与自动化
专业名称: 过程装备与控制工程






东北大学
2009 年 6 月
I
A moveable vacuum vapor deposition system
for academic research and experiment





By Liu Rui Qi
Supervisor: Li Jian Chang








Northeastern University
June 2009
毕业设计(论文)任务书
机械工程与自动化学院班级装备 051 姓名刘瑞琪
毕业设计(论文)题目:
便携科研实验用真空蒸发镀膜系统的设计
设计(论文)基本内容:
镀膜机总装配图 1 张;真空室图 1 张;基片台组件 1 张;其
他零部件图若干张。共折合 0#图纸 4 张。
设计说明书 1 份。
外文参考文献译文 1 份。
毕业设计(论文)专题部分:
题目: 基片台组件的结构设计
基本内容:基片的结构,以及挡板、绝热绝缘、加热冷却、薄膜
性能的测量等附属机构。
学生接受毕业设计(论文)题目日期
第 1 周
指导教师签字:

2008 年 3 月 5 日
I
东北大学毕业设计(论文) 摘要
摘要
真空技术已经在许多的行业得了越来越广泛的应用,薄膜技术的发展也涉及几乎所
有的前沿学科领域。为适应社会和科技发展变化的需要,很多高校的相关专业把真空镀
膜技术进行了推广,要求在校的理工科学生来了解掌握真空镀膜技术。虽然蒸发镀膜机
的设计在技术上已经趋于成熟,各公司的厂品趋于完备,但是存在着价格昂贵、设备复
杂、不利于实验室研究及学生的操作理解的问题,而我们据此地提出设计一台便携科研
实验用真空镀膜机,该系统操作简单直观,有利于学生对真空镀膜工艺过程的理解。
本课题以简单小巧为设计理念,实现薄膜器件实验复合型镀膜机的设计,在一个镀
膜室内开发设计基片架以及蒸发源,挡板、绝缘绝热、加热冷却等附属机构。通过加热
形式不同的蒸发源来满足对一种或多种蒸发材料蒸发镀膜要求,操作方便且可以节约设
备的成本,减小占地空间。
本课题研究的主要内容包括:
1. 设计计算基片的安装结构,能同时实现对多基片的镀膜。
,以控制成膜的质量,并可以测量薄膜电学性
能参数。
3. 合理规划真空系统的结构,使其方便小巧,方便移动。











关键词:薄膜,变温测试,真空蒸发,薄膜器件

II
东北大学毕业设计(论文) Abstract
Abstract
Pecently, vacuum technigue has been used in many field of reserd institutes and industy
,thin film technology also pla an impartant role in a lot of hot areas of
cuwent sclewe keep with the trend the umrersities of china have adapted the
etperimental training claises for studeuts of chenuisty, physics and eniguirere etc. Althouyh
the relating thin film depositim system have beem well-developed in uies by
mostof the panies, mericd instmmauts are eithr veg large and etpensive
or plicated ti be operated by undergraduated studeuts.
The object of this work is to design pact and moreoble vacuum deposition system
with small size and light system has t