SOI高g值压阻式加速度传感器的研制.pdf

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学位论文作者签名::泣祖元学位论文作者签字:泣诅炙迸字日期:≯』些太堂金肥王些太堂签字日期:≯·本人声明所呈交的学位论文是本人在导师指导下进行的研究工作及取得的研究成果。据我所知,除了文中特别加以标志和致谢的地方外,论文中不包含其他人已经发表或撰写过的研究成果,也不包含为获得或其他教育机构的学位或证书而使用过的材料。与我一同工作的同志对本研究所做的任何贡献均已在论文中作了明确的说明并表示谢意。本学位论文作者完全了解有关保留、使用学位论文的规定,有权保留并向国家有关部门或机构送交论文的复印件和磁盘,允许论文被查阅或借阅。本人授权可以将学位论文的全部或部分论文内容编入有关数据库进行检索,可以采用影印、缩印或扫描等复制手段保存、汇编学位论文。C艿难宦畚脑诮饷芎笫视帽臼谌ㄊ签字日期:≯学位论文作者毕业后去向:工作单位:导师签名:电话:邮编:通讯地址:
微机械加速度传感器是一种重要的惯性测量器件,具有体积小、重量轻、响应快、易于加工等优点,目前在国内外已有着广泛的应用,其中高导铀度计在国防事业中有着非常重要的应用价值,如硬性目标的侵彻、装甲的贯穿等。目前国内在高导铀俣燃品矫娴难兄朴牍庀啾然勾嬖谧疟冉洗蟮牟钜欤并且国外对中国采取技术封锁,因此开发出具有抗高过载、高冲击能力的高值加速度计对我国的国防建设有着非常重要的意义本文提出了一种杵遟值压阻式加速度传感器。该加速度传感器利用杵哪透呶隆⒌脱埂⒌凸牡扔诺悖行У奶岣吡搜棺枋郊铀俣却ǜ器的使用环境;同时采用双土貉姑舻缱瑁苊饬嗽诳啥考喜枷撸岣了结构的可靠性;利用刚度较大的主悬臂梁,使质量块在平板内震动,极大的提高了结构的谐振频率,同时进一步保证结构的可靠性。利用扇形质量块代替传统的矩形质量块,有效的增大了质量块的重心距离悬臂梁末端的距离,提高了结构的灵敏度。采用杌票讣铀俣燃频牧硪桓鲇诺闶牵姑舻缱琛⒉考电阻之间是用介质层实现电隔离,而不是传统的结电隔离,从而提高了传感器测量的准确性。采用两两相对的单元布局方式,有效的消除结构的横向灵敏度,进一步提高了结构测量的精度。利用砑D夥析表明,设计的加速度计具有较高的灵敏度与谐振频率,具有较大的抗冲击能力。建立理论模型并利用砑越峁菇心D夥治鲇胙橹ぁ7治霰砻鳎加速度计在嵯颉轴向灵敏度分别为//./恍痴衿德史直鹞、。可实现对量程高达万铀俣鹊牟饬该结构利用深反应离子刻蚀工艺实现结构的制造。这种结构可实现二个轴向上加速度高达万牟饬慷阅鼙3趾芎玫南咝远扔肓槊舳龋阍诟冲击高过载环境下的使用,具有很好的应用价值关键词:扇形质量块;压阻式加速度计;双土海籗
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篪氖城掸儿减批悼子鯾铺助气%乙憎眠荆蝴致谢转眼间,两年半的研究生学习生活就要结束了,而入学仿佛还情,初来乍到时的场景犹历历在目。回忆起这两年半的点点滴滴,欣慰之余而又庆幸无比。值得欣慰的是,我这两年多的时间是在汗度过的,学到了许多受益无穷的东西;庆幸的是我来到了一个很好到了很多的良师益友,给我了很多的指引和帮助,使我能够顺利地再此谨向他们表示晟衷心的感谢最深的谢意献给我的导师许高斌教授。我知道,我所掌握的言切地表达我对许老师的感激之情。是许老师给了我一片天空,使我的空间。许老师在学术上给了我方向,生活中给我了温暖,行动上处世上给我了榜样。在我失败的时候,许老师给我打气;在我咬牙许老师给我加油;在我成功的时候,许老师给我提醒,让我继续前许老师无论在什么时候都给了我最大的信任,用他的言传身教,使多书本上没有的东西,这也是我获得的最宝贵的财富。感谢陈兴老师的教导与关心,我还要将我的谢意送给我实验室王鹏、李一方、王曦雯、徐开松,以及常永嘉、童鑫、朱华明、宋『段宝明、皇华、韩成成、李凌字几位师弟师妹,你们是我三年生活伴侣,有了你们我的研究生阶段生活更加的充实和开心。感谢安徽程技术研究中心全体成员。感谢我的父母,感谢我的兄弟姐妹,我知道如果没有他们的支的今天,我也知道我永远都无法完全回报他们的爱,所以我希望顺业,争取更大的成功,给他们一点欣慰。感谢所有帮助过我的老师、同学和朋友,感谢所有关心过和帮没有他们对我的关注,就没有我今天的任何成绩。感谢合肥工业大的人生添上了浓烈的一笔,给我了一个更新更高的起点,让我更加面对未来的挑战谨以此文献给所有关注过和关注着我的人,祝愿他们心想事成作
目录第一章绪论⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.和微系统⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯