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CZT 多晶薄膜的光学性能测试分析
密级公开
学号 071584


毕业设计(论文)


CdZnTe 多晶薄膜
的光学性能测试分析




院(系、部): 材料科学与工程系
姓名: 张鸿博
班级: 高074班
专业: 高分子材料科学与工程
指导教师: 曾冬梅
教师职称: 讲师



2011 年 6月 3 日·北京
CZT 多晶薄膜的光学性能测试分析
北京石油化工学院
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院系名称: 材料科学与工程系
作者签名: 张鸿博
学号: 071584

2011 年 6 月 13 日
摘要
摘要
CdZnTe(简称 CZT)是一种性能优异的 II-VI 族化合物半导体。CdZnTe 晶体具有广泛
的应用前景,目前 CdZnTe 晶体是制备 X 及γ射线探测器最优选的材料。CdZnTe 探测器可
广泛用于安检、工业探伤、医学诊断、天体 X 射线望远镜等方面。而随着晶体生长技术的
发展,性价比更高的薄膜成为了研究的主要对象。
本文利用射频磁控溅射法制备 CZT 多晶薄膜,利用红外分光光度计、紫外可见分光光
度计及 Raman 光谱仪研究溅射过程中的工作气压及溅射功率对薄膜光学性能的影响,优化
CZT 多晶薄膜的制备工艺,具有重要研究和实用意义。揭示了工作气压、溅射功率对薄膜
光学性能的影响规律。研究结果表明,随着溅射气压的升高,CdZnTe 薄膜的透过率与光学
带隙宽度而增大;红外透过率则随着功率的增大而减小;而薄膜结晶质量则随着工作气压和
溅射功率的增大得到了提升。

关键词:CdZnTe 薄膜,磁控溅射,气压,功率,光学性能,能带

















I
摘要

Abstract
CdZnTe (CZT) is a kind of II-VI semiconductors with excellent photoelectric
properties . There is a widely applied prospect of CZT crystal,it has proved to be the
most excellent material to detect X-ray and gamma ray. CdZnTe probe can be widely
used in many fields,such as security monitor, industrial flaw-detection, medical
diagnosis and celestial body X-ray telescope and so on. With the development of
technology of crystal growth, CdZnTe films which has better performance-cost ratio
e main object of study.
We prepared polycrystalline CZT films by RF ron sputtering method. The
influences of optical properties of the CdZnTe films have been studied by infrared
spectrophotometer, ultraviolet spectrophotometer and Micro-Raman spectroscopy. The
results showed that transmittance and band gap energy increases with the increase of
pressure; Infrared trans