ESD基础知识培训教材-OFILM201305.ppt

ESD Basic Knowledge Training
ESD防护基础知识培训
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随着IT业的突飞猛进,,,对工艺控制提出新的要求.
前言
1206
0805
0603
0402
0201
第一章静电的定义和产生途径?
第三章 EPA区域基本要求。
第四章个人防静电装备检测方法。
第五章异常处理和报告流程。
第二章 ESD定义和ESD的危害。
课程大纲:
静电的定义
能长时间停留在某一对象上相对静止的电荷
特点:
单极性-正电荷或负电荷
分布不均匀。通常边角静电更大
4
5
静电产生的第一种途径:摩擦带电
+4
-=0
+3
-=0
+4
-=+1
+3
-=-1
⑴摩擦带电产生原理:
接触摩擦
接触分离
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静电产生的第二种途径:接触带电
⑴接触带电过程
⑵接触带电特点:
- 带电绝缘体仅能小面积释放电荷
- 带电导体能释放大量的电荷给另一个导体
带电绝缘体
未接地导体
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静电产生的第三种途径:感应带电
-发生于带电体接近导体时:
-带电的物体(如绝缘物体或CRT显示器)吸引导体中的电子
-导体内的局部电荷分布不均匀
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ESD定义
ESD (Electrostatic Discharge-静电放电) , 它指的是静电电荷在两个不同电势物体上快速转移的现象.
静电电荷快速转移到另一对象上.
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静电放电三种模型:
⑴人体放电模型-HBM
⑵机器模型-MM
⑶带电器件模型-CDM
说明:类似于人体指尖对器件放电,放电路径从人体到敏感器件.
说明:模拟设备金属部分带电后对敏感器件放电,由于放电电阻要比人体模型小许多,因此破坏性更大.
说明:由于器件本身带电,在接触低电势时,器件内电荷快速转移到接触面.
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9
60 ~ 75%
EOS / ESD
其他
30 ~ 50%
EOS / ESD
8 ~ 33%
ESD alone
损失是巨大的!
欧洲调查数据
其他
其他
美国ESD协会调查数据
日本调查数据
ESD对电子业造成的损失
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