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金属材料的扫描电镜观察与分析.ppt

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金属材料的扫描电镜观察与分析实验目的了解扫描电镜的基本原理了解扫描电镜的基本操作对扫描电镜照片作基本分析实验仪器JSM6460-LV扫描电子显微镜仪器的特点分辨率高(高真空3nm、低真空4nm);放大倍数连续调节的范围大,6×~200000×;景深大、视野大,图象富有立体感;试样制备简单;可在低真空状态下观察,真空度:1~270Pa可同时进行形貌观察SEM、微区成分分析EDS和晶体学分析EBSD操作步骤打开电源(循环水电源、主机电源ON、计算机电源),双击SEM图标进入程序,进入sample窗口,单击VENT键放气将准备好的样品用导电胶粘贴在样品台上,打开样品仓安放样品,然后关闭仓门在sample窗口中单击EVAC键抽真空,进stage窗口,将样品台移动到合适位置(工作距离为10~20之间)打开高压(通常选择20KV,导电性差的可适当调低),选择视场,调焦,适当调节放大倍数和亮度对比度,开始观察如需打能谱,则需打开能谱仪电源,进入INCA程序仪器的应用EBSDEDSSEM:形貌观察EDS:成分分析EBSD:晶体结构及取向分析观察断口形貌抛光腐蚀后的金相表面及烧结样品的自然表面分析原子序数衬度观察生物样品的观察SEM扫描电镜对试样的要求1、尺寸在Φ30*30之内;2、样品外形规则,底面应与观察面平行;3、试样表面应清洁;4、试样一般要求导电,对不导电的样品应对其进行喷金处理;5、试样一般应经过抛光并腐蚀。扫描电镜工作原理二次电子的成像原理

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