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电子厂房洁净室系统.ppt

文档分类：建筑/环境 | 页数：约23页举报非法文档有奖

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电子厂洁净室系统简介大纲HJTC/R介紹洁净室系统型式为何需要CleanRoom洁净室的定义洁净等级定义制程线宽与洁净度之关系CleanRoom之环境因子影响C/R洁净度的环境因子风管系统FFU系統轴流风机系统架构表及主要系统介绍Layout说明MAU与空气循环系统洁净室的定义洁净室为将一定空间范围内之空气中的微尘粒子、有害空气、细菌等之污染物排除,并将室内之温湿度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音震动及照明、静电控制在某一需求范围内,-100um回主画面影响C/R洁净度之环境因子温度湿度压力微尘粒子照度微振动噪声静电化学物质回主画面洁净室空调系统型式风管系统FFU系統轴流风机系统以风管输送洁净空气循环空调箱兼处理外气天花空间为微负压气室独立设置外气空调箱天花空间为正压气室独立设置外气空调箱回主画面风管系统(循环空调箱兼处理外气)洁净度、温度及湿度控制FFU系統(独立设置外气空调箱)洁净度控制温度控制湿度控制温度控制

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