空间载频干涉法测量薄膜厚度技术研究-精密仪器及机械专业毕业论文.docx

唰唰唰唰A1·川川川"。川川n川u唰唰川川AU恻恻唰啼,删川川OU川川川WWAE-m阳VE空间载频干涉法测最薄膜厚度技术研究学科:精密仪器及机械指导教师签字: -r;.摘要现代干涉测量技术测量薄膜厚度具有高精度、非接触性和大视场等的测量优点。许多精密测试工作,都是依靠光干涉的方法来实现的,对于某些测试任务,干涉甚至是唯…可行的解决方法。本文探讨了利用快速傅立叶变换法对采用空间载频干涉术得到的单幅干涉困进行相位解包裹的问题。D图像接收设备搭建了数字图像测试系统并获取载有薄膜厚度信息的干涉阁片,建立被测薄膜样片与干涉相位分布之间的数学模型,再借助于数字图像处理技术就可得到被测薄膜的厚度参数。设计了一套处理干涉阁的算法,包括去除噪声、边缘提取算法、区域延拓算法以及频城变换算法等。通过二维快速傅里叶变换法把经过预处理的干涉图变换到频域,选择合适的滤波器提出干涉图样频谱中的JE一级频谱,再进行二维快速傅立叶反变换,通过对频域的二维傅立叶反变换求得的带有薄膜信息的波面包囊相位分布,再对其进行相位解包。其中包括一种新算法,即,菱形种子相位解包算法。用本文的算法不仅对多幅薄膜干涉图进行了实际测量,而且为验证这种测最薄膜厚度算法的正确性还对最块干涉图作了实际检测。本文处理结果与ZYGO干涉仪处理结果对比后表明:所测-,,用ZYGO干涉仪测间一薄膜样片进行比对,,,。由此可见,此处理算法可以利用单峭的干涉条纹阁像得到高精度的薄膜波丽的相位分布。从而大大减少了测量薄膜厚度的复杂度,实现在实时性场合下对薄膜被测参数的自动化测量。这对于优化薄膜的制备工艺有着意耍的实用意义。,,关键词:干涉条纹图像:工维快速傅立叶变换:薄膜厚度测试;相位解包;数字滤波器StudyonTechnologyofThioFilmThicknessMeasurementbased00SpaceCarrierFrequencyIoterferometryDiscipline:PrecisionInstrumentandMachineryStudentSignature: WenboWanSupervisorSignature:.在伊叨AbstractModeminterferometryandmeasurementforthin-,uracyandrich-field,,forsometestmission,,-Dimagesreceivingequipment盯'ehamessedωacquireinterferogramwith',,thisincludes:removingthenoise,edgedetection,regionspreading,:,weuse2D-FFTtransfertheinterferogram仕om企equencydomain