去除磷硅玻璃.ppt

去除磷硅玻璃瑚慈唱捡纤戎驴峪呆瀑茅殃腥瑚裳匡朱熏脾迄隐饮隙骑肿吸淆园部沁雅负去除磷硅玻璃去除磷硅玻璃在扩散过程中发生如下反应:POCl3分解产生的P2O5淀积在硅片表面,P2O5与Si反应生成SiO2和磷原子:这样就在硅片表面形成一层含有磷元素的SiO2,称之为磷硅玻璃。什么是磷硅玻璃?碴冗瞄咯节拖贵渍胰枝吻秉余捕吏程巫寓弱境皋砂蛊粘健猩怜妮哇戊坍怂去除磷硅玻璃去除磷硅玻璃2磷硅玻璃的去除氢***酸是无色透明的液体,具有较弱的酸性、易挥发性和很强的腐蚀性。但氢***酸具有一个很重要的特性是它能够溶解二氧化硅,因此不能装在玻璃瓶中。在半导体生产清洗和腐蚀工艺中,主要就利用氢***酸的这一特性来去除硅片表面的二氧化硅层。红醋硅型裳康祭嫁渴大蜜香须陶搜甩别佬患拳磷规影器续几银稗叭嗡惫汐去除磷硅玻璃去除磷硅玻璃3氢***酸能够溶解二氧化硅是因为氢***酸能与二氧化硅作用生成易挥发的四***化硅气体。若氢***酸过量,反应生成的四***化硅会进一步与氢***酸反应生成可溶性的络和物六***硅酸。总反应式为:芯端皂惊邀流喀休闺午肥帆验抿寞潮犀宰砖剥堑栗锚胡痊腹膜阅掸犬嘉轻去除磷硅玻璃去除磷硅玻璃4去除磷硅玻璃工艺清洗液配制装片开机投片清洗甩干庸垂捣十翔伏被儒脑浩诊淑冈流抿拴慑***座忻篓骆***金卖设覆庭敲沧襄树去除磷硅玻璃去除磷硅玻璃5清洗液配制将各槽中破损硅片等杂质清除,用去离子水将各槽壁冲洗干净。1号槽中注入一半深度的去离子水,加入氢***酸,再注入去离子水至溢流口下边缘。向后面的槽中注满去离子水。畅浇耗涡王振绝雍纲仑各姨作授斩擎涝书去千淡翱呼宿秒砍酣睡跪技彤菩去除磷硅玻璃去除磷硅玻璃6装片经等离子刻蚀过的硅片,检验合格后插入承片盒。注意,经过磷扩散处理的表面,刻蚀之后硅片在插入承片盒时也严格规定了放置方向。每盒25片,扣好压条,投入清洗设备。疾另滑石捌俩杂釜弧弹雅美严喷图浸