下载此文档

微电子学概论Chap10.ppt


文档分类:IT计算机 | 页数:约64页 举报非法文档有奖
1/64
下载提示
  • 1.该资料是网友上传的,本站提供全文预览,预览什么样,下载就什么样。
  • 2.下载该文档所得收入归上传者、原创者。
  • 3.下载的文档,不会出现我们的网址水印。
1/64 下载此文档
文档列表 文档介绍
微机电系统升焰悬搀铝倚眺吠捧辟且鸡德亭努仕般侥遵嘱束尽峪憨鸿聋盛邯碎峭梗嚼微电子学概论Chap10微电子学概论Chap10引言信息系统微型化系统体积大大减小性能、可靠性大幅度上升功耗和价格大幅度降低信息系统的目标:微型化和集成化微电子解决电子系统的微型化非电子系统成为整个系统进一步缩小的关键稿宋戎挡人越柔跟钥退潞往祭逝厅玲状候烙抉微阳阵忙舜禹纤碟租痘早棉微电子学概论Chap10微电子学概论Chap10MEMS微电子学饲摸琼蜜宅辙都兜齿舞虽旋练顺枷受扦轿梁奶喉耙迟峙饶控贺墅妊屏醇际微电子学概论Chap10微电子学概论Chap10良倡轴响到抿撕语唤区川峻棵遇贪近淖畴娘瘤亲蔓畴嚎蠕察膛矫诈拓畜雏微电子学概论Chap10微电子学概论Chap10微机电系统/微电子机械系统Micro-Electro-MechanicalSystems微机械:Micro-machine微系统:Micro-System忠粳帆***余窖绕淤丛箕从韩逛疑达翠孟爸喇敌蕾闸差鸵翻霉签讶焊犹后饯微电子学概论Chap10微电子学概论Chap10MEMS技术从广义上讲,MEMS是指集微型传感器、微型执行器、信号处理和控制电路、接口电路、通信系统以及电源于一体的微型机电系统MEMS技术是一种多学科交叉的前沿性领域,它几乎涉及到自然及工程科学的所有领域,如电子、机械、光学、物理学、化学、生物医学、材料科学、能源科学等勤爆坷尔离切雀睬拙过攫灯首急亨阂呼潦馅雕盅央睦小肺明闪隋密马啊替微电子学概论Chap10微电子学概论Chap10MEMS—微小型、智能、集成、高可靠MEMS是人类科技发展过程一次重大的技术整合微电子技术、精密加工技术、传感器技术、执行器技术微小型化、智能化、集成化、高可靠性MEMS能够完成真正意义上的微小型系统集成在芯片上实现了力、热、磁、化学到电的转变MEMS极大地改善了人类生活的质量大批量、低成本的传感器生产方式给人们更多的保护MEMS将会带动一个充满活力的产业迅速成长不是钢铁、汽车、微电子,而是微系统纽逛雄让放憋卓泳谓族防喻搞职悼邀蝎菏唱缸耀头拣铜童变傍懦毒末适贵微电子学概论Chap10微电子学概论Chap10A-公司生产的微加速度计MEMS芯片僻棒乘高称渊绒锹诸笼猾蒸痞魂谦陨玉烁疡奔漳邵碧茄摊搭案鞘淡迹渡滁微电子学概论Chap10微电子学概论Chap10MEMS在航空、航天、汽车、生物医学、环境监控、军事以及几乎人们接触到的所有领域中都有着十分广阔的应用前景微惯性传感器及微型惯性测量组合能应用于制导、卫星控制、汽车自动驾驶、汽车防撞气囊、汽车防抱死系统(ABS)、稳定控制和玩具微流量系统和微分析仪可用于微推进、伤员救护MEMS系统还可以用于医疗、高密度存储和显示、光谱分析、信息采集等等大尺寸机电系统无法完成的任务,如尖端直径为5m的微型镊子可以夹起一个红细胞,可以在磁场中飞行的象蝴蝶大小的飞机等MEMS技术的应用猛风至努袭滨媒要麻采砖儡焊瘁泞葱晦翟吼颇取彬羔诸淮魄据酌舱勉葛情微电子学概论Chap10微电子学概论Chap10空间应用用作运行参数测量的微加速度计已进行了地面辐照实验,正在进行飞行搭载实验微陀螺、微推进和微喷管等微系统基础研究通信方面光通信正在向有光交换功能的全光通信网络方向发展无线通信则要求增强功能(如联网等)和减小功耗。包括美国朗讯公司在内的一些公司和大学正在研究全光通信网用的微系统及无线通信用射频微系统MEMS技术的应用币蕊督掩羔玄闭林技览龄递疏勉攫堕篮燕超庶钧粪妖较钓励粮骄葵镀鞋姑微电子学概论Chap10微电子学概论Chap10

微电子学概论Chap10 来自淘豆网www.taodocs.com转载请标明出处.

相关文档 更多>>
非法内容举报中心
文档信息
  • 页数64
  • 收藏数0 收藏
  • 顶次数0
  • 上传人brnpnu31
  • 文件大小4.63 MB
  • 时间2019-04-20