开关电容技术压力传感器接口电路研究分析报告.doc

蚆莃袆合肥通用职业技术学院蒂芆蒂蒄蒁芀毕业论文羁羇薇题目:基于开关电容技术地压力传感器接口电路地研究蒅螄羆学院:合肥通用职业技术学院莀蚇袃专业:检测技术及应用薆羂蚈班级:检测801螀蒈芆学生:尹丽美莄芄肆学号:23080151腿膈羀指导老师:汪琴芳莅莃莀蚈羈肅二0一一年二月十六日蒇薁肅基于开关电容技术地压力传感器接口电路地研究莂虿蒁《摘要》:芄袃袈介绍了一种单片集成电容式压力传感器接口电路,该电路基于电容-频率转化原理,,,测试结果与仿真结果一致,在80~110kPa量程内,《关键词》:芅羂膅微机电系统单片集成电容接口电路电容-频率转化电容式压力传感器测试结果接口电路设计张弛振荡器仿真结果施密特触发器阈值电平p1EanqFDPw膁袅袂 Aninterfacecircuitbasedontheprincipleofcapacitance--,,~110kPa.【Keyword】:MEMS;monolithic;capacitiveinterfacecircuit;capacitance-frequencyconversion......DXDiTa9E3d莇莄薀1引言薀蚆袇电容式传感器是将被测地非电量变化转换为电容量变化地一类传感器,它广泛应用在压力、湿度、(MEMS)设计与加工技术地不断进步,已研制出包括微型压力传感器、湿度传感器、加速度计,,,将传感器结构和接口电路集成在一块芯片上,使它具备标准IC工艺批量制造、适合大规模生产地优势,在降低了生产成本地同时还减少了互连线尺寸,抑制了寄生效应,,传感器电容结构由多晶硅/栅氧/n阱硅构成,,该电路结构简单,并通过“差频”,消除了温漂和工艺波动地影响,***蚆把被测地机械量,如位移、、,平板电容器地电容为εA/δ,式中ε为极间介质地介电常数,A为两电极互相覆盖地有效面积,、A、ε三个参数中任一个地变化都将引起电容量变化,、面积变化型、、压力、振动等引起地极距变化(见电容式压力传感器).、密度、,随着集成电路技术地发展,,,,价格便宜,灵敏度高,过载能力强,动态响应特性好和对高温、辐射、,寄生电容和分布电容对灵敏度和测量精度地影响较大,、角位移、振动振幅,尤其适合测量高