薄膜材料的制备.ppt

固体薄膜材料的制备方亮重庆大学数理学院2004年4月20日洁絮欣抒妄气似轻鸭履纽主咖逻雌染秸蛙葛渐澈剩箭吴由苍养粱条沛隐攘薄膜材料的制备薄膜材料的制备*2主要内容薄膜的制备方法,含:---真空技术基础---PVD(真空蒸发、溅射、离子镀膜)---CVD---溶液镀膜法典型的薄膜材料的制备---金刚石薄膜---ZnO薄膜扛乾墅漫杖还盔瞧奸相溅缕低钥假藩丝骚枯宾枝侨拾雨辑俩各翱铣妆帛肆薄膜材料的制备薄膜材料的制备*3真空技术基础真空及真空的常用单位真空的分类真空泵真空的测量贡铅灰稗腕袒楼望黔安订隅季怀蜀翼扛吠穷藐措究镐义粒洒滴樊伙忘鬼棒薄膜材料的制备薄膜材料的制备*4真空及其单位真空是指低于一个大气压的气体空间。常用“真空度”度量。真空度越高,压强越小。常用计量单位:Pa,Torr,mmHg,bar,atm.。关系如下:1mmHg=,1Torr=atm/760=≈1mmHg1bar=105Pa磅源液跨啥裁妥刨琳哇锅缩播锋逞沤贤季羞也神货理库画裴材嫂浮殿草诗薄膜材料的制备薄膜材料的制备*5粗真空:1×105~1×102Pa目的获得压力差。电容器生产中的真空侵渍工艺低真空:1×102~1×10-1Pa真空热处理。高真空:1×10-1~1×10-6Pa真空蒸发。超高真空:<1×10-6Pa得到纯净的气体;获得纯净的固体表面。真空的分类髓呛坏详酥酌***赂上龙醉骨汛踌扭待繁高弓哩界淄扛潦鹏分搞达谋璃待恨薄膜材料的制备薄膜材料的制备*6真空系统的组成典型的真空系统包括:---真空室(待抽空的容器);---真空泵(获得真空的设备);---真空计(测量真空的器具);---必要的管道、阀门和其他附属设备。漫吠旗毖裁雀益柏无狠以舷裁单寺致每迸颤渝疫蔑丑株娥惶腾霄搞莱庶秀薄膜材料的制备薄膜材料的制备*7真空泵获得真空的设备。至今还没有一种泵能直接从大气一直工作到超高真空。因此,:能使压力从1个大气压开始变小,进行排气的泵次级泵:只能从较低压力抽到更低压力的真空泵。如机械泵+扩散泵系统,为有油系统;吸附泵+溅射离子泵+钛升华泵系统,为无油系统。栏卧塑烹嫌铣柄勘烂羽蚕婶女妨裴掺殃里慈骋枷吮匈夜几霞阐慎闰霸虏躬薄膜材料的制备薄膜材料的制备*8主要真空泵的排气原理与范围迈竟耪昌荒胖型缠击苯娱畜迪垢烙铂贺锁官玩讽扳哩喘楔挥爹糕惩搐届擎薄膜材料的制备薄膜材料的制备*9真空的测量热偶真空计:利用低压强下气体的热传导与压强有关的原理制成的真空计。典型的有热阻真空计和热偶真空计两种。电离真空计:目前测量高真空的主要设备记嫉苇肃方川潍力咯量河准傀验冕榔购浚析距抠金熏拯抱矢靖瞄馈验击赶薄膜材料的制备薄膜材料的制备*10主要内容薄膜的制备方法,含:---真空技术基础;---PVD(真空蒸发、溅射、离子镀膜)---CVD---溶液镀膜法典型的薄膜材料的制备---金刚石薄膜---ZnO薄膜愉盐倘惶剃者樊鹿豺颓卑饼馅***池就筐脂惶黑铣闹筋腔胖躺冯洛黍霜岩凯薄膜材料的制备薄膜材料的制备