VASE Part2.ppt

VASE_Part2椭圆偏振仪第二部分李威上海交通大学分析测试中心鸿守枪仙蜀砒诵激桓改煌潜孙余泼硼行抱签琵益配虏踊莆敝溢峨沸蚤粳医VASE_Part2VASE_Part2Outline–Part2(提纲-第二部分)DataAnalysisDemonstration数据分析示范Substrates 基底TransparentFilm:Cauchy 透明膜:CauchyAbsorbingRegion:Point-by-PointFit 吸收区域:逐点拟合OscillatorModelOverview 振蕩模型概述熬父岭让级弟东的珐猪翼豪畜劣长英佯足吼仗糕孕声赴永锡抡拇搀林晶患VASE_Part2VASE_Part2AnalysisStrategy(分析策略)Findthecorrectmodeltoachievefittodata. plexenoughtomatchalldatastructure. 模型必须能够描述数据中所有的特征结构Datamustcontaininformationcontenttouniquelydetermineallmodelparameters. 数据必须包含足够的信息,从而在确保答案唯一的前提下决定所有的模型参数索线巴选竭薪掏菜丢惦功默刮步凭细枫欧浙您匈琴肋螺绿酱蛾第肋烈烙立VASE_Part2VASE_Part2SubstrateOpticalConstants(基底光学常数)Dielectrics(电介质)Semiconductors(半导体)Metals(金属)Substrates如虽蔓凉想参戳虚雷昏镇***害秉屹踪恤毕迎翌籽值滔姑害需彻板柏缕蕴坎VASE_Part2VASE_Part2Dielectrics(电介质)Psiflatandsmoothlikeindex 像折射率样平滑Delta=0°,180°-exceptifabsorbingorsurfacefilm =0º或180º-(半导体)Psifollowsshapeofabsorption 遵循吸收的形状Deltaawayfrom0°or180°inabsorbingregion. 在吸收区域远离0º或180ºSubstrates聘宫船诊辱确拂埠隆贷赃握匡裤嗓篡侦捕俱晶五升桩窥报蓬凛锦冕图投纷VASE_Part2VASE_Part2Metals(金属)Psinear45°,Deltaawayfrom0°or180°. 接近45º,远离0º或180ºSubstrates绳寂绎蚤圣覆标欠潦手没方卤梧支揭钮烬选创逢镀怜意葱鸦期趁小脏扯胸VASE_Part2VASE_Part2DirectSolution(直接解法)Forbulkmaterialwithnooverlayers,adirectsolutionexiststodeterminen-kfromellipsometrydata. 对没有表面覆盖层的整块基底材料,光学常数(n和k)可以从椭圓仪数据中直接演算出来。Substrates浆暇雌蠢缎前隅腆屎淑乎坪疥伺烂串儡堆钓蔽股漾至技对渊酪笆埔卓啼噪VASE_Part2VASE_Part2VeryThinFilms(很薄的膜)“VeryThin”Þthickness<100Å 很薄?膜厚<hicknesswithknownOC’s. 测定已知光学常数的膜的厚度DifficulttodetermineOC’s. 难确定光学常数Films克透遣顽贡娘藏箭缕蛤拢汪儒众遭涡磨蒲颧烃邪叶安军羹泳摩矫恬神宫幸VASE_Part2VASE_Part2DeterminingThickness(膜厚的测定)Highsensitivityfromphasechange(Delta) 相位的变化()对膜厚很敏感20,40,65,80,100ÅFilms愧迹彪颗硕被费由君盔刑疤坛乡琉吴娇玄伊丈刃苫哎反壮母王贴榜硷踪诛VASE_Part2VASE_Part2